大庆水喷射真空机组批发厂家

　　锆铝吸气泵的工作条件压强低于10-3Pa时，抽活性气体的工作温度为400℃，体内扩散速率是金属表面维持的吸气速率而不能释放氢；10-3~1Pa范围内，抽活性气体工作温度为750℃——提高温度加速体内扩散，加速清洗吸气剂表面，对H2要求高抽速，工作温度为400℃对纯氢要求大抽速和大吸气量是，工作温度一般为200~300℃对纯氢要求尽可能大的吸气量而不需要大抽速时，可室温工作高真空或者超高真空系统中，工作温度一般为400℃低温泵是利用低温表面将被抽空间的气体冷凝、捕集、吸附或冷凝+吸附，使被抽空间的压强大大降低，获得并维持真空状态的抽气装置，是一种储存式捕集抽气，气体并没有排出泵外，一旦冷凝表面温度发生变化，它抽走的气体又会重新释放，破坏真空。应用:外太空模拟；高能物理、等离子体研究；薄膜制备领域；微电子学，尤其是半导体微电子技术中——离子注入，离子刻蚀；现代表面分析仪器中。

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　　真空泵的选择选用真空泵时，需要注意下列事项:真空泵的工作压强应该满足真空设备的限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求110-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如:扩散泵为10-310-7mmHg，在如此宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为510-4510-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在那个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于110-5mmHg为好。

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　　检查油位是否正常，若油位过低请及时加油。开启真空泵排气口处放净阀，将管道内的冷凝液排净，以防排气阻力过大，损坏设备甚至造身伤害。开启冷却水，冷却水路畅通，冷却水供应充足。启动前级真空泵，当真空度达到罗茨泵的启动条件后方可启动罗茨泵；进行了1~4程序后螺杆真空泵可以开机；关闭主管路进气阀门。先停罗茨真空泵，再停前级泵；冬季停机时要将冷却水排放干净；关主阀后对泵进行清洗吹扫，再关螺杆泵；

　　为获得某一工作真空度所需的时间。这时间决定于真空系统抽速的大小，提高抽速可缩短这一时间。大的工作室如宇航模拟装置等，显然需要大的抽速。有时工作室虽然不大，但由于漏放气严重，则真空系统也需要大的抽速，否则大量的漏放气将大大降低真空度，使系统无法工作。