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　　*分辨率为0.1/0.5μm时，精度可高达(1.3+0.6L/600)μm；        

　　*确保垂直度（前部）达6μm，直线度达4μm；        

　　*全/半空气浮动系统可调节气垫；        

　　*GO/NO-GO LED显示.        

　　*带有基本统计功能，另外，通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑相连，        

　　可实现外部测量数据评估；