mems'加速度传感器原理:当仪表壳体沿输入轴作加速运动时，检测质量因惯性而绕输出轴转动，传感元件将这一转角变换为电信号，经放大后馈送到力矩器构成闭环

　　mems陀螺仪原理:陀螺仪利用科里奥利力——旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。假设旋转物体有径向速度Vr，那么将会产生切向科里奥利加速度

　　其中mems加速度传感器分为三种

　　1、压电式:压电式MEMS加速度计运用的是压电效应，在其内部有一个刚体支撑的质量块，有运动的情况下质量块会产生压力刚体产生应变，把加速度转变成电信号输出。

　　2、容感式:容感式MEMS加速度计内部也存在一个质量块，从单个单元来看它是标准的平板电容器。加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平板电容两极的间距和正对面积通过测量电容变化量来计算加速度

　　3、热感式:热感式MEMS加速度计内部没有任何质量块，它的中央有一个加热体，周边是温度传感器里面是密闭的气腔工作时在加热体的作用下气体在内部形成一个热气团，通过惯性热气团的移动形成的热场变化让感应器感应到加速度值。

　　以上俩种mems形式的传感器和陀螺仪是目前和未来将要发展的重要趋势。