测量范围:800mm  Y:1500mm  Z:600mm

　　结构类型:移动桥式

　　分辨率:0.5μm

　　示值精度:E3 =(3.0 + L/300) μm   (L单位:mm)

　　探测误差:R = 3.2μm

　　机台承重:1000kg

　　整机重量:2260kg

　　台面可用尺寸:2210 mm X1030mm

　　整机尺寸:长2549mm宽:1466mm高:2700mm

　　传动方式:柔性同步带

　　驱动系统:直流伺服系统

　　示值系统:英国Renishaw自粘开放式金属反射光栅尺

　　工作机台:高精度花岗岩平台（00级）

　　导轨型式:高精度导轨＋预载荷高精度空气轴承

　　气源处理:日本SMC

　　三、设备使用环境条件及工作时间

　　机室温度: 20℃±2℃

　　机室温度最大梯度: 1℃/m，1℃/h，2℃/d

　　机室湿度:60%±5%

　　供气压力:﹥0.5MPa

　　空气流量:160 L/min

　　振动频率范围: 0-19Hz  19-75Hz >75Hz

　　振动振幅:   0.0011mm  0.0011-0.002mm 0.002mm

　　电压:220V±10%

　　频率:50-60HZ

　　电流:15A

　　耗电量:﹤800W

　　备注:用电设备要求接地可靠:接地电阻小于4欧姆