详细说明
应用
· 一般实验室应用
· 光谱学
· 表面分析
· 小型镀膜系统
· 真空涡轮制造
特性与优势
· 完全组装,随时可用
· 通过集成的控制器控制涡轮泵、前级泵和可选的真空计
· NW40、ISO63 或 CF63 入口法兰
· 选择前级泵、E2M1.5 油封泵 T-Station 75W 或 XDD1 隔膜泵 T-Station 75D
· 延时涡轮启动选件,以便泵送更大容量
技术数据
N2 抽速
NW40
42 ls-1
ISO63/CF63
61 ls-1
N2 压缩比
>1 x 1011
50Hz 时的前级泵速度
E2M1.5
1.6 m3h-1
XDD1
1.2 m3h-1
极限压力
<5 x 10-8 mbar
进气口法兰
NW40、ISO63 或 CF63
排气口法兰
E2M1.5
11mm OD 喷嘴或 3/8 英寸 BSP
XDD1
装配消音器或 1/8 英寸 BSP
重量
E2M1.5
22 kg / 48 lb
XDD1
18 kg/40 lb
噪音级别
55.4 dB(A)
密封性
<1 x 10-6 mbar ls-1
工作温度范围
10 至 40°C/50 至 104°F