EdWARDS罗茨泵 EH500_中科商务网

详细说明

　　应用

　　· 半导体制程

　　· 真空蒸馏

　　· 真空包装

　　· 钢脱气

　　· 薄膜覆层

　　· 真空冶金

　　· 低密度风洞

　　· 空间模拟

　　· 真空浸渍

　　· 油干燥和脱气

　　· 制药冷冻干燥

　　· CO2 激光

　　功能和优势

　　· 适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

　　· 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

　　· EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

　　o 安静的无振动运行。

　　o 牢靠且防腐蚀。

　　o 先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

　　· 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

　　· 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到*低。

　　· 轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要*高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

　　· 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

　　技术数据

　　型号

　　EH250

　　EH500

　　EH1200

　　EH2600

　　EH4200

　　排量（工作容积）

　　310 m3h-1 / 185 ft3min-1

　　505 m3h-1 / 300 ft3min-1

　　1195 m3h-1 / 715 ft3min-1

　　2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1

　　4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1

　　使用前级泵时的有效抽速

　　240 m3h-1 / 141 ft3min-1

　　350 m3h-1 / 206 ft3min-1

　　840 m3h-1 / 495 ft3min-1

　　1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1

　　3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1

　　泵的压力差

　　0-180 mbar/0-140 Torr

　　0-110 mbar/0-83 Torr

　　0-90 mbar/0-68 Torr

　　0-80 mbar/0-60 Torr

　　0-60 mbar / 0-45 Torr

　　进气口连接

　　ISO63

　　ISO100

　　ISO160

　　ISO250

　　出口连接

　　ISO40

　　ISO63

　　ISO100

　　转速

　　0-2900 rpm

　　连续进气口工作压力

　　0-1000 mbar/0-760 Torr

　　*大出口压力

　　1000 mbar/760 Torr

　　推荐的前级泵

　　GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80

　　GV80，E2M80

　　GV160、GV250、

　　E2M80、E2M175

　　GV250、GV400、

　　E2M175、E2M275

　　GV400、E2M275

　　电机功率

　　碳氢化合物

　　2.2 kW / 3 hp

　　2.2 kW/3 hp

　　3 kW/4 hp

　　11 kW/15 hp

　　PFPE

　　1.5 kW / 2 hp

　　1.5 kW/2 hp

　　3 kW/4 hp

　　7.5 kW/10 hp

　　11 kW/15 hp

　　ATEX

　　2.2 kW

　　3 kW

　　11 kW

　　防爆

　　3 hp

　　4 hp

　　15 hp

　　环境温度范围

　　工作

　　5 至 40°C/40 至 104°F

　　存储

　　-10 至 80°C/14 至 176°F

　　*大工作湿度

　　90% RH

　　推荐用油

　　Ultragrade 20

　　油容量

　　齿轮箱

　　1.25 l/1.3 qt

　　3.5 l/3.3 qt

　　联轴器盖

　　1.5 l/1.6 qt

　　6.5 l/7 qt

　　轴封储油器

　　0.125 l/0.25 qt

　　1.5 l/1.4 qt

　　重量

　　61 kg/134 lb

　　74 kg/163 lb

　　308 kg/679 lb

　　400 kg / 882 lb

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