山东工业级55%氢氟酸生产厂

　　氢氟酸的储存与运输规范

　　氢氟酸储存需避光、低温，置于通风良好的防泄漏托盘内，远离活泼金属（如钠）和碱性物质。运输时须符合危险化学品法规，使用耐压聚乙烯桶并标注“腐蚀性”和“有毒”标志。车辆应配备防漏应急包，驾驶员需持有危险品运输资质。国际运输还需遵守《联合国关于危险货物运输建议书》，确保包装通过密封性和抗冲击测试。任何运输途中泄漏都需立即隔离现场，由专业人员处理。

　　10. Norrild, J. C.; Pedersen, C.; Soetofte, I. Carbohydr. Res., 1997, 297, 261.氢氟酸又称氟化氢酸，是氟化氢的水溶液，分子式为HF。无有毒、有强的腐蚀性和刺激性，市售的氢氟酸一般含氟化氢 40%，易挥发，置于空气中即冒白烟。它的酸性在氢卤酸中是弱的，但腐蚀性很强，能腐蚀玻璃和许多金属。故不能用玻璃作容器。可用以在玻璃上刻画花纹。工业用氢氟酸可由氟石（CaF2）和浓硫酸反应制得。是制造氟酸盐的主要原料。本品有剧毒、在空气中高容许浓度为1mg/m3，对金、铂、铅、石蜡及某些塑料不起腐蚀作用。无论是液态或气态刺激眼、皮肤及呼吸道，与皮肤接触立即引起烧伤并剧痛。液体与眼睛接触立即造成失明。应存放在通风阴凉处，避免阳光直射，远离火种热源，切忌与H发孔剂、氰化物、金属粉末、碱等接触，以防发生意外。装卸时要轻拿轻放，渗漏。渗漏时地面上撒上苏打石灰，用水冲洗，消防方法可用干粉，二氧化碳、雾状水，不宜用加压水，以防冲洗时溅出。操作人员应戴防毒面具与手套，切勿触及皮肤，当误触皮肤发生腐烂，则立即用清水冲洗伤口20分钟。再作医治。也可在灼伤处涂敷氧化镁甘油软膏、或擦稀氨水，并就医诊治。

　　将无水氢氟酸（国家标准）经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的氟化氢气体经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化，随后经0.2μm以下超滤工序，在密闭洁净环境条件下（百级以下） 进行灌装得到产品———电子级氢氟酸。目前国内外制备电子级氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等技术，这些提纯技术各有特性，各有所长。如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品，气体吸收技术可以用于大规模的生产。

　　山东工业级55%氢氟酸生产厂

　　15、氮化硅的刻蚀以活性离子刻蚀法去除氧化区域上的氮化硅。接着再将光刻胶去除。16、元件隔离区的氧化利用氧化技术，长成一层二氧化硅膜，形成器件的隔离区。

　　17、 去除氮化硅利用热磷酸湿式蚀刻的方法将其去除掉。

　　18、 利用氢氟酸去除电区域的氧化层

　　除去氮化硅后，将晶圆放入氢氟酸化学槽中，去除电区域的氧化层，以便能在电区域重新成长品质的二氧化硅薄膜，做为电氧化层。

　　氢氟酸是危险的无机酸之一。由于它的腐蚀性，皮肤上微量接触这种化学物质， 氢氟酸属于危险化学品,其具有腐蚀性的皮肤接触会造成灼伤。在皮肤上吸入这种物质可以引起皮炎等疾病;对人体有毒害作用,需要注意保护自己的健康。由于它的强碱性、刺激性和腐蚀性都很大,所以如果直接用手接触就会发生烧烫伤或其他严重的伤害,而长期大量摄取该气体将会导致中毒甚至死亡的风险增加。对于高浓度的空气中还含有大量的热量也会出现爆炸现象和窒息的情况。,因为它易溶于水,不会被氧化分解为无油状液体,一旦与金属接触后可能会产生火花,这不仅使周围环境变得干燥而且还会损坏人的神经系统,引发火灾等等事故。 氢氟酸的危害有哪些