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　　氢氟酸的历史与发现

　　氢氟酸的发现可追溯至17世纪，当时瑞典化学家舍勒首次从萤石（CaF₂）中制得氟化氢。19世纪初，法国科学家盖·吕萨克和泰纳尔提纯了无水氢氟酸，并发现其腐蚀玻璃的特性。工业规模化生产始于20世纪，随着制冷剂和原子能需求增长。历史上，氢氟酸曾用于铀浓缩（曼哈顿计划），也因战争用途蒙上阴影。如今，其应用更偏向民用高科技领域，但安全争议始终存在。

　　28、 淀积含硼磷的氧化层加入硼磷杂质的二氧化硅有较低的溶点，硼磷氧化层(BPSG)加热到摄氏800度时会有软化流动的特性，可以利用来进行晶圆表面初级平坦化，以利后续光刻工艺条件的控制。29、 接触孔的形成涂布光刻胶，利用光刻技术形成层接触金属孔的屏蔽。再利用活性离子刻蚀技术刻蚀出接触孔。30、 溅镀 Metal1利用溅镀技术，在晶圆上溅镀一层钛／氮化钛／铝／氮化钛之多层金属膜。

　　可经皮肤吸收，氢氟酸酸雾经呼吸道吸入。对皮肤有强烈刺激性和腐蚀性。 氢氟酸中的氢离子对人体组织有脱水和腐蚀作用，而氟是活泼的非金属元素之一，与氢离子结合较牢(电离常数K=3.5×10^-4)。皮肤与氢氟酸接触后，非离子状态的HF不断解离而渗透到深层组织，溶解细胞膜，造成表皮、真皮、皮下组织乃至肌层液化坏死。氟离子与组织中的钙和镁离子结合形成难溶性盐。钙离子的减少使细胞膜对钾离子的通透性增加，钾离子从细胞内到细胞外导致神经细胞的去化而引起剧痛。

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　　通过氟从铀矿中提取铀，因为铀和氟的化合物很易挥发，用分馏法可以把它和其它杂质分开，得到十分纯净的铀，铀是制造原子弹的原料。在铀的化合物中，只有氟化物具有很好的挥发性能。4、氟气还用于金属的焊接和切割、电镀、玻璃加工、物、农、离子蚀刻等。 别名: 氢氟酸;氟化氢;氟化氢(无水);氟氢酸;氟化氢溶液;无水氟化氢;无水氢氟酸;电子级氢氟酸;氟氢酸HF acid;工业氟氢酸;工业氢氟酸;工业氢氟酸,HF;化学试剂氢氟酸;化学试剂氢氟酸,HF;氢氟酸 分析纯;氢氟酸,HF;无水氟化氢,aHF;有水氢氟酸;氟氢酸,HF;工业氢氟酸,HF acid;无水氟化,氟化氢;不锈钢酸洗钝化膏;氢氟酸, 48 TO 51% SOLUTION IN WATER;琼脂QFS;氢氟酸, 99.99% (METALS BASIS) 40% MIN;氢氟酸 危险品;氢氟酸, ACS试剂, 48.0 - 51.0% 氟化氢;氢氟酸, 40 WT.% 水溶液, 用于分析

　　39、氮化硅的淀积

　　利用PECVD 沉积出氮化硅膜，形成保护层。

　　40、PAD的形成

　　利用光刻技术在晶圆表层制作出金属焊盘（Pa）的屏蔽图形。利用活性离子蚀刻技术蚀刻出焊盘区域，以做为后续集成电路封装工艺时连接焊线的接触区。41、 将元件予以退火处理此一步骤的目的是让器件有佳化的金属电性接触与性，至此一个CMOS晶体管完成。