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　　氢氟酸的历史与发现

　　氢氟酸的发现可追溯至17世纪，当时瑞典化学家舍勒首次从萤石（CaF₂）中制得氟化氢。19世纪初，法国科学家盖·吕萨克和泰纳尔提纯了无水氢氟酸，并发现其腐蚀玻璃的特性。工业规模化生产始于20世纪，随着制冷剂和原子能需求增长。历史上，氢氟酸曾用于铀浓缩（曼哈顿计划），也因战争用途蒙上阴影。如今，其应用更偏向民用高科技领域，但安全争议始终存在。

　　11、去除二氧化硅利用湿法刻蚀方法去除晶圆表面的二氧化硅。12、前置氧化利用热氧化法在晶圆上形成一层薄的氧化层，以减轻后续氮化硅沉积工艺所产生的应力。

　　13、 氮化硅的淀积利用低压化学气相沉积方法（LPCVD）淀积氮化硅薄膜，用来定义出器件隔离区域，使不被氮化硅遮盖的区域，可被氧化而形成组件隔离区。

　　14、元件隔离区的掩膜形成利用光刻技术，在晶圆上涂布光刻胶，进行光刻胶曝光与显影，接着将氧化缘区域的光刻胶去除，以定义出器件隔离区。

　　高浓度灼伤常呈进行性坏死，溃疡愈合缓慢。严重者累及骨骼，尤以指骨为多见，表现为无菌性骨髓炎的征象。氢氟酸酸雾可引起皮肤瘙痒及皮炎。剂量大时亦可造成皮肤、胃肠道和呼吸道粘膜的灼伤。 HF理化性质:氢氟酸是氟化氢气体的水溶液,为无透明至淡黄冒烟液体.有刺激性气味.分子式 HF-H2O.相对密度 1.15～1.18.沸点 112.2℃(按重量百分比计为38.2%).市售通常浓度:约47% .是弱酸.氟化氢的水溶液,其溶质的质量分数可达35.35%.无溶液,有毒.浓时密度1.14g/cm3,沸点393.15K（120℃）.发烟雾.具弱酸性,但浓时的电离度比稀时大而与一般弱电解质有别.腐蚀性强,对牙、骨损害较严重.对硅的化合物有强腐蚀性.应在密闭的塑料瓶内保存.用HF溶于水而得.用于雕刻玻璃、清洗铸件上的残砂、控制发酵、电抛光和清洗腐蚀半导体硅片（与HNO3的混酸）.因为氢原子和氟原子间结合的能力相对较强,使得氢氟酸在水中不能解离.氢氟酸能够溶解很多其他酸都不能溶解的玻璃（二氧化硅）,反应方程式如下:SiO2(s) + 6 HF(aq) → H2SiF6(aq) + 2 H2O(l)正因如此,它储存在塑料容器中（理论上讲,放在聚四氟乙烯做成的容器中会）.氢氟酸还是一种还原剂,如果要长期储存,不仅需要一个密封容器,而且容器中应尽可能将空气排尽.工业制法:工业上用萤石（氟化钙 CaF2）和浓硫酸来制造氢氟酸.加热到250摄氏度时,这两种物质便反应生成氟化氢.反应方程式为:CaF2 + H2SO4 → 2 HF + CaSO4这个反应生成的蒸气是氟化氢、硫酸和其他几种副产品的混合物.在此之后氟化氢可以通过蒸馏来提纯.

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　　准确定位每个区域的光刻工艺;

　　(3)向晶片中添加材料的氧化、淀积和离子注入;

　　(4)从晶片上去除材料的刻蚀工艺。

　　这些工序中多数都要求“热处理”,也就是说,晶片在炉中经历热循环。

　　多晶硅是一种无定形(非晶体)形式的硅。正如17章所述,栅上的硅在氧化层上生长时,不能形成单晶。目前主流的都是硅，现在也逐渐由氮化镓，砷化镓，碳化硅等等这些材料，记住一个特点，它们都是半导体。

　　工业领域:氟化氢可以制备其他具有工业价值的无机氟化合物，包括冰晶石，六氟铝酸钠，氟化铝。无机氟化合物包括氟化钠和六氟化铀也可以用于生产氢氟酸。其他用途包括玻璃蚀刻或加工（石英提纯），除莠剂，除去金属表面氧化物和稀有金属提纯（采矿和钻井作业），半导体和电子行业，荧光灯泡和清洗液。在工业领域，氢氟酸的主要用途是去除金属氧化物，其他用途包括家庭除锈和除污渍以及汽车清洗。汽车清洗是应用化学产品集中的领域。在日常汽车清洗中，一般仍继续采用氢氟酸，因为氢氟酸具有相对低廉的成本，尤其是大量购买时，成本更低（洗车操作的标准程序是将10％～12％氢氟酸溶液和其他成分加入到55加仑水中进行稀释）。平均而言，采用氢氟酸清洗剂成本比采用其他清洁剂便宜5美元，或者以清洗剂的体积计则浓度为8%的氢氟酸溶液比其他清洁剂每加仑便宜3美元至5美元。生产商建议氢氟酸与水的稀释比例为1∶30，但是这个比例通常根据温度、水质和需要的配方强度而改变。研究表明氢氟酸可以溶解铜和钨，同时具有选择性的钛蚀刻能力。氢氟酸和硅前驱体复配可以保护二氧化硅。氢氟酸清洗液中若存在过氧化氢会导致铜的溶解率受到抑制。这种现象是由于界面氧化铜形成造成的，氧化铜在氢氟酸中的溶解速度较慢。反应动力学研究确定氢氟酸和氧气浓度符合一阶动力学。氢氟酸可以选择性剥离钛膜，移除等离子体刻蚀聚合物或残留物，同时抑制一些物质的蚀刻速率，如钨、铜、二氧化硅、碳化硅、Si3N2和掺杂二氧化硅的碳。由于氢氟酸具有溶解铁氧化物和硅基污染物的能力，可以将其用于产生高压蒸汽的预调试锅炉。氢氟酸可以溶解一些氧化物如五氧化二钽和三氧化二钽，也应用于溶解粉末状岩石样品。类似用途如氢氟酸被用来从硅酸盐岩中提取有机化石。含化石岩可直接浸入到酸中，或应用硝酸纤维素膜（溶于乙酸戊酯），硝酸纤维素膜依附于有机成分，并能溶解岩石。稀氢氟酸（1～3％w/w）与有机酸或盐酸组合应用于石油工业，刺激岩层增产石油和天然气。