广东工业50%氢氟酸公司

　　氢氟酸的化学特性

　　氢氟酸（HF）是一种无色透明的强酸，由氟化氢气体溶于水制成，具有极强的腐蚀性和毒性。与其他强酸不同，氢氟酸的酸性并非最强，但其独特的氟离子（F⁻）使其能够溶解许多其他酸无法腐蚀的物质，如玻璃、陶瓷和某些金属氧化物。这是因为氟离子能与二氧化硅（SiO₂）反应生成六氟硅酸（H₂SiF₆），从而破坏硅酸盐材料的结构。氢氟酸的弱解离性（部分电离）使其在低浓度下仍具有高渗透性，能够深入组织，造成严重伤害。

　　前置氧化利用热氧化法生长一层二氧化硅薄膜，目的是为了降低后续生长氮化硅薄膜工艺中的应力(stress)，氮化硅具有很强的应力，会影响晶圆表面的结构，因此在这一层氮化硅及硅晶圆之间，生长一层二氧化硅薄膜来减缓氮化硅与硅晶圆间的应力。3、淀积氮化硅利用低压化学气相沉积（LPCVD）的技术，沉积一层氮化硅，用来做为离子注入的mask及后续工艺中，定义P 型井区域。

　　4、P阱的形成将光刻胶涂在晶圆上之后，利用光刻技术，将所要形成的P型阱区的图形定义出来，即将所要定义的P型阱区的光刻胶去除掉。

　　(二)氢鼓泡和氢脆氢氟酸介质与碳钢接触生成氟化铁和氢原子: Fe十2HF→FeF2十2H 氟化铁是一种致密的锈蚀物，附在金属表面形成一种保护膜，使氟化氢的扩散速度降低。对设备起到保护作用。但当介质温度超过65℃时，该层锈蚀物的保护膜就将剥落，使金属继续被腐蚀。 腐蚀反应产生的氢原子对钢材有很强的渗透能力。这种渗透能力与温度有关，温度越高，渗透越强。(三)应力腐蚀应力腐蚀是材料在应力和特定介质共同作用下所引起的材料开裂。在氢氟酸中碳钢和蒙乃尔合金均可能产生应力腐蚀开裂。这种应力腐蚀是随温度的增加而加剧。

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　　前面我们提到,在晶体管之间的区域进行场注入和场氧生长,在这道工序中,先牛成由硅钢化物层、氮化硅(Si )层和正性光刻胶层组成的叠层。按者,用“有源区”掩模版光刻,以便只刻蚀出晶体之间的区域、见图17.8(d)D,然后,进行沟道阻断层注入,去除光刻胶,并在刻蚀出的区域生长-层厚氧化层,即生成了场氧。去除作为保护层的氮化物层和氧化物层,见凶17.8(e),从而露出用于制作品体管的区域 为清楚起见,后续的图中将省略沟道阻断注入。

　　氢氟酸英文名 hydrofluoric acid，分子式HF，分子量 20. 01，为无透明液体 ，相对密度1. 15～1 . 18，沸点 112 . 2 ℃，在空气中发烟 ，有刺激性气味 ，剧毒；能与一般金属、 金属氧化物以及氢氧化物发生反应 ，生成各种盐类；腐蚀性强 ，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅；易溶于水、醇 ，难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂 ，可与硝酸、冰醋酸、 双氧水及氢氧化铵等配置使用