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　　氢氟酸中毒的急救方法

　　氢氟酸暴露后，急救的黄金时间是前几分钟。皮肤接触需立即用大量清水冲洗15分钟以上，随后涂抹葡萄糖酸钙凝胶以结合游离氟离子；若无凝胶，可用镁盐或钙盐溶液湿敷。眼睛接触时需持续冲洗至少30分钟并尽快就医。吸入蒸气者应转移至空气新鲜处，给予吸氧或支气管扩张剂。无论症状轻重，均需送医监测血钙水平和心电图，静脉注射钙剂可能是必要的。延误处理会导致不可逆损伤，因此现场急救与专业医疗同样重要。

　　前面我们提到,在晶体管之间的区域进行场注入和场氧生长,在这道工序中,先牛成由硅钢化物层、氮化硅(Si )层和正性光刻胶层组成的叠层。按者,用“有源区”掩模版光刻,以便只刻蚀出晶体之间的区域、见图17.8(d)D,然后,进行沟道阻断层注入,去除光刻胶,并在刻蚀出的区域生长-层厚氧化层,即生成了场氧。去除作为保护层的氮化物层和氧化物层,见凶17.8(e),从而露出用于制作品体管的区域 为清楚起见,后续的图中将省略沟道阻断注入。

　　氢氟酸英文名 hydrofluoric acid，分子式HF，分子量 20. 01，为无透明液体 ，相对密度1. 15～1 . 18，沸点 112 . 2 ℃，在空气中发烟 ，有刺激性气味 ，剧毒；能与一般金属、 金属氧化物以及氢氧化物发生反应 ，生成各种盐类；腐蚀性强 ，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅；易溶于水、醇 ，难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂 ，可与硝酸、冰醋酸、 双氧水及氢氧化铵等配置使用

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　　浓度小于20%的氢氟酸，往往24小时候才会有感觉；50%的中等浓度氢氟酸也会延迟1-8小时。1个70公斤的人，只需要7ml纯氟化氢，就能结合掉你的游离钙。手指是危险的皮肤暴露位置，因为指甲下缺乏角质层保护，指甲本身对氢氟酸无防护、却能阻碍外敷物。很容易侵入深部组织、导致坏死。 它的结果包括:液化性坏死、骨骼脱钙、严重深部疼痛、低血钙、低血镁、肺水肿、代谢性酸中毒、心室性心律不整、心搏骤停、死亡……

　　15、氮化硅的刻蚀以活性离子刻蚀法去除氧化区域上的氮化硅。接着再将光刻胶去除。16、元件隔离区的氧化利用氧化技术，长成一层二氧化硅膜，形成器件的隔离区。

　　17、 去除氮化硅利用热磷酸湿式蚀刻的方法将其去除掉。

　　18、 利用氢氟酸去除电区域的氧化层

　　除去氮化硅后，将晶圆放入氢氟酸化学槽中，去除电区域的氧化层，以便能在电区域重新成长品质的二氧化硅薄膜，做为电氧化层。