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　　氢氟酸的储存与运输规范

　　氢氟酸储存需避光、低温，置于通风良好的防泄漏托盘内，远离活泼金属（如钠）和碱性物质。运输时须符合危险化学品法规，使用耐压聚乙烯桶并标注“腐蚀性”和“有毒”标志。车辆应配备防漏应急包，驾驶员需持有危险品运输资质。国际运输还需遵守《联合国关于危险货物运输建议书》，确保包装通过密封性和抗冲击测试。任何运输途中泄漏都需立即隔离现场，由专业人员处理。

　　39、氮化硅的淀积

　　利用PECVD 沉积出氮化硅膜，形成保护层。

　　40、PAD的形成

　　利用光刻技术在晶圆表层制作出金属焊盘（Pa）的屏蔽图形。利用活性离子蚀刻技术蚀刻出焊盘区域，以做为后续集成电路封装工艺时连接焊线的接触区。41、 将元件予以退火处理此一步骤的目的是让器件有佳化的金属电性接触与性，至此一个CMOS晶体管完成。

　　腐蚀性:氟硅酸能腐蚀锑以及有相当活性的其它金属‚但它与铜及铁作用分别在铜、铁表面形成保护性不溶膜。氟硅酸水溶液能腐蚀大多数金属尤其是铝故盛放氟硅酸溶液的容器宜用聚乙烯或硬质橡胶制品。主要用途:氟硅酸是制取氟硅酸盐及四氟化硅的原料，也应用于金属电镀、木材防腐、啤酒等。 氟硅酸有剧毒能侵蚀粘膜、眼睛和皮肤。同时能释放出有毒气体 HF 和 SiF4。溶液和气相的毒性与氢氟酸相等。生产磷酸的工人患有的肺尘（埃沉着）病和肺支气管病等慢性病与接触 HF、H2SiF6和 SiF4 有关。有职业与健康国家机构组织建议氟的暴露水平应在2.5mg F／m 3 以下。氟的雾化致死量为140mg F／kg。市场上的氟硅酸是浓度为20％～35％的水溶液。由于它具有腐蚀性能腐蚀多种金属和合金一般用橡胶或塑料容器运输和保存。

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　　估计人摄入1.5g氢氟酸可致立即死亡。吸入高浓度的氢氟酸酸雾，引起支气管炎和出血性肺水肿。 氢氟酸也可经皮肤吸收而引起严重中毒。 皮肤损害程度与氢氟酸浓度、接触时间、接触部位及处理方法有关。浓度越高，接触时间越长，作用就越迅速而强烈。皮下组织坏死严重，手指致密组织部位疼痛剧烈。 接触30%以上浓度的氢氟酸，疼痛和皮损常立即发生。接触低浓度时，常经数小时始出现疼痛及皮肤灼伤。部皮损初起呈红斑，随即转为有红晕的白水肿，继而变为淡青灰坏死，而后成为棕褐或黑厚痂，脱痂后形成溃疡。手指部位的损害为皮下组织坏死，呈灰褐或黑。甲周肿胀。严重时甲下积液形成，甲床与甲板分离，指甲浮动。

　　此工艺通过浓硫酸与萤石（≥97.5％氟化钙）反应获得氟化氢。氟化氢离开反应器后被冷凝，然后通过蒸馏纯化。氢氟酸是通过迅速将无水氟化氢溶解于水获得。氟化氢也是提取磷酸（肥料前身）的一个副产品，磷酸是从矿物磷灰石（CA5(PO4)3(F,Cl,OH)）获得的。磷灰石遇酸释放气体硫，包括氟化氢，二氧化硫，水蒸汽和颗粒物。气体生成物和固体分离，与浓硫酸和发烟硫酸生成无水氟化氢。氢氟酸是伴随着硅酸盐矿物溶解过程产生的，并产生大量的氟硅酸。