道滘工业级氟化氢铵工厂

　　氢氟酸的化学特性

　　氢氟酸（HF）是一种无色透明的强酸，由氟化氢气体溶于水制成，具有极强的腐蚀性和毒性。与其他强酸不同，氢氟酸的酸性并非最强，但其独特的氟离子（F⁻）使其能够溶解许多其他酸无法腐蚀的物质，如玻璃、陶瓷和某些金属氧化物。这是因为氟离子能与二氧化硅（SiO₂）反应生成六氟硅酸（H₂SiF₆），从而破坏硅酸盐材料的结构。氢氟酸的弱解离性（部分电离）使其在低浓度下仍具有高渗透性，能够深入组织，造成严重伤害。

　　用作分析试剂，也用于高纯氣化物的制备。是氟盐、氣致冷剂、氟塑料、氣橡胶、氟医及农等所的氣来源 4、是生产冷冻剂“氟里昂”、含氣树脂、有机氣化物和氣的原料。在化工生产中可用作烷基化、聚合、缩合、异构化等有机合成的催化剂。还用于开采某些矿床时腐蚀地层，以及稀土元素、放射性元素的提取。在原子能工业生产中是制造六氟化铀的原料，也是生产火箭燃料和添加剂的原料，还可用于腐蚀玻璃和浸渍木材等。

　　硅的一个独有的特性是,可以在共表耐生成均匀的氧化层而几乎不在晶格中产生应力,从而允许棚氧化层的制造薄到几十埃(只有几个原子层),除了作为栅的缘材料外,二氧化硅在很多制造工序中可以作为保护层,在器件之间的区域,也可以生成一层称为“场氧 (FOX)的厚SiO2层,使后面的工序可以在其上制作互连线。1、初始清洗初始清洗就是将晶圆放入清洗槽中，利用化学或物理的方法将在晶圆表面的尘粒或杂质去除，这些杂初始清洗就是将晶圆放入清洗槽中，利用化学或物理的方法将在晶圆表面的尘粒或杂质去除，这些杂质尘粒，对后续的工艺造成影响，使得器件无法正常工作。

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　　2）高铬钢和铬镍不锈钢在氢氟酸浓度高于50％的介质中有严重的点腐蚀。12Cr和1Crl8Ni9Ti等不锈钢在氢氟酸中生成的保护膜致密性差，即使在常温下也能为氢氟酸所破坏。一般不选用。3）铸铁本身性脆，机械性能差，碳、硫、磷、硅含量较高。不耐氢氟酸腐蚀。4）铜虽然在低温、稀酸中耐氢氟酸腐蚀，但不耐冲蚀。对流速较大的流动介质不能选用铜。在浓的氢氟酸中铜可耐66℃氢氟酸腐蚀 。5）铝不耐氢氟酸腐蚀。 6）金、银、铂等贵重金属抗氢氟酸能力比蒙乃尔合金还要好，但由于价格昂贵，一般不选用。

　　前面我们提到,在晶体管之间的区域进行场注入和场氧生长,在这道工序中,先牛成由硅钢化物层、氮化硅(Si )层和正性光刻胶层组成的叠层。按者,用“有源区”掩模版光刻,以便只刻蚀出晶体之间的区域、见图17.8(d)D,然后,进行沟道阻断层注入,去除光刻胶,并在刻蚀出的区域生长-层厚氧化层,即生成了场氧。去除作为保护层的氮化物层和氧化物层,见凶17.8(e),从而露出用于制作品体管的区域 为清楚起见,后续的图中将省略沟道阻断注入。