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　　氢氟酸与环境污染

　　氢氟酸泄漏对环境的危害极大，其氟离子可污染土壤和水体，抑制微生物活动，破坏生态平衡。酸性废水会腐蚀管道并渗入地下水，长期累积可能造成动植物氟中毒，表现为牙齿斑驳、骨骼畸形。工业排放需严格控制在ppm级，并通过中和沉淀法（如添加石灰生成氟化钙）处理废水。历史上多起氢氟酸事故（如1987年美国德克萨斯州泄漏事件）警示我们需加强储存运输监管，避免大规模生态灾难。

　　参考:Razavi-7章 CMOS工艺技术-519暴力讲解半导体中的“氮化硅”

　　制造从约1mm厚的p型硅晶片开始。在清洁和抛光工序后,在晶片表面生长一层作为保护层的二氧化硅薄层,见图17.8(a)。接着,制作n阱,光刻工序包括光刻胶涂敷、用n阱掩模版进行紫外线曝光和选择性刻蚀,然后进行n卧离子注入,见网17.8(b),之后,去除无用的光刻校和氧化层.见图17.8（C）。

　　人吸入氢氟酸酸雾。会强烈刺激，腐蚀呼吸道，吸入过多会造成呼吸道水肿，溃烂，肺水肿，呼吸衰竭而死亡。所以关于氢氟酸的实验，要带上橡胶手套，带上防毒面具，有条件的还要穿上防护服。以免皮肤接触氢氟酸或者吸入它的酸雾。四、硫酸、氢氟酸怎么分离用什么方法才分的干净？

　　硫酸和氢氟酸混合，只要加热就对能把氢氟酸除尽，因为氢氟酸的沸点很低，而硫酸是高沸点酸！

　　但假如还要同时得到氢氟酸（分离），则你收集挥发出来的HF气体就可以！

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　　化学性质:氟化氢对热稳定，加热到1000℃仅稍有分解。还原性在卤化氢中小。其分子由于形成氢键而有缔合现象，室温下氟化氢气体是(HF)2和(HF)3的混合物。其水溶液显弱酸性。许多金属氟化物可与氟化氢形成稳定的二氟氢盐如NaHF2，KHF2等。干燥的氟化氢对多数金属或金属氧化物不起反应，可是在与金属氧化物的反应中由于产生微量的水使反应自动加速，称自催化反应。和某些非金属氧化物也有同样的反应。

　　19、 电氧化层的形成此步骤为制做CMOS的关键工艺，利用热氧化法在晶圆上形成高品质的二氧化硅，做为电氧化层。20、 电多晶硅的淀积利用低压化学气相沉积（LPCVD）技术在晶圆表面沉积多晶硅，以做为连接导线的电。

　　21、 电掩膜的形成涂布光刻胶在晶圆上，再利用光刻技术将电的区域定义出来。

　　22、 活性离子刻蚀利用活性离子刻蚀技术刻蚀出多晶硅电结构，再将表面的光刻胶去除。