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　　氢氟酸对人体的危害

　　氢氟酸接触皮肤后，初期可能仅表现为轻微疼痛或红斑，但其氟离子会迅速穿透组织，与钙、镁离子结合，导致细胞坏死和骨骼脱钙。若不及时处理，可能引发深度烧伤、低钙血症甚至致命性心律失常。吸入氢氟酸蒸气会腐蚀呼吸道，导致肺水肿；眼睛接触可致失明。因其潜伏性强，即使少量接触也需立即用葡萄糖酸钙凝胶中和并就医。长期低剂量暴露可能造成慢性氟中毒，表现为骨质硬化和器官损伤。

　　参考:Razavi-7章 CMOS工艺技术-519暴力讲解半导体中的“氮化硅”

　　制造从约1mm厚的p型硅晶片开始。在清洁和抛光工序后,在晶片表面生长一层作为保护层的二氧化硅薄层,见图17.8(a)。接着,制作n阱,光刻工序包括光刻胶涂敷、用n阱掩模版进行紫外线曝光和选择性刻蚀,然后进行n卧离子注入,见网17.8(b),之后,去除无用的光刻校和氧化层.见图17.8（C）。

　　氢氟酸是危险的无机酸之一。由于它的腐蚀性，皮肤上微量接触这种化学物质， 氢氟酸属于危险化学品,其具有腐蚀性的皮肤接触会造成灼伤。在皮肤上吸入这种物质可以引起皮炎等疾病;对人体有毒害作用,需要注意保护自己的健康。由于它的强碱性、刺激性和腐蚀性都很大,所以如果直接用手接触就会发生烧烫伤或其他严重的伤害,而长期大量摄取该气体将会导致中毒甚至死亡的风险增加。对于高浓度的空气中还含有大量的热量也会出现爆炸现象和窒息的情况。,因为它易溶于水,不会被氧化分解为无油状液体,一旦与金属接触后可能会产生火花,这不仅使周围环境变得干燥而且还会损坏人的神经系统,引发火灾等等事故。 氢氟酸的危害有哪些

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　　第二是作用范围大。氢氟酸进入人体之后，会进入血液循环，影响全身的组织，尤其是骨骼。氢氟酸的毒理主要是攻击钙离子，形成不溶性的氟化钙:急性反应包括迅速降低血钙，引起心律不齐甚至心脏骤停。但这样其实引起的痛苦是少的，如果是一天之后发现手变成这个样子这种情况请尽快截肢:首先有大量氟离子存在于组织之中（并未与钙等金属离子结合），细胞死亡后会进一步释放氟离子毒杀其他组织。如果剂量再低一些，可能连水泡都没有，但是在几天之后会感到手骨头痒，进而转变为剧痛。

　　39、氮化硅的淀积

　　利用PECVD 沉积出氮化硅膜，形成保护层。

　　40、PAD的形成

　　利用光刻技术在晶圆表层制作出金属焊盘（Pa）的屏蔽图形。利用活性离子蚀刻技术蚀刻出焊盘区域，以做为后续集成电路封装工艺时连接焊线的接触区。41、 将元件予以退火处理此一步骤的目的是让器件有佳化的金属电性接触与性，至此一个CMOS晶体管完成。