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　　氢氟酸的历史与发现

　　氢氟酸的发现可追溯至17世纪，当时瑞典化学家舍勒首次从萤石（CaF₂）中制得氟化氢。19世纪初，法国科学家盖·吕萨克和泰纳尔提纯了无水氢氟酸，并发现其腐蚀玻璃的特性。工业规模化生产始于20世纪，随着制冷剂和原子能需求增长。历史上，氢氟酸曾用于铀浓缩（曼哈顿计划），也因战争用途蒙上阴影。如今，其应用更偏向民用高科技领域，但安全争议始终存在。

　　太阳能光伏产业同样离不开电子级氢氟酸。在太阳能电池的制造过程中，用于清洗硅片表面和蚀刻相关的结构，有助于提高电池的转换效率和稳定性。以下是电子级氢氟酸在不同应用领域的具体用途对比: 芯片清洗、蚀刻 玻璃基板清洗、电蚀刻

　　硅片清洗、结构蚀刻

　　随着电子信息技术的不断发展，对电子级氢氟酸的需求持续增长，同时对其纯度和质量的要求也越来越高。相关企业和科研机构不断加大研发投入，致力于提高电子级氢氟酸的生产工艺和性能，以满足日益增长的市场需求和技术挑战。

　　前置氧化利用热氧化法生长一层二氧化硅薄膜，目的是为了降低后续生长氮化硅薄膜工艺中的应力(stress)，氮化硅具有很强的应力，会影响晶圆表面的结构，因此在这一层氮化硅及硅晶圆之间，生长一层二氧化硅薄膜来减缓氮化硅与硅晶圆间的应力。3、淀积氮化硅利用低压化学气相沉积（LPCVD）的技术，沉积一层氮化硅，用来做为离子注入的mask及后续工艺中，定义P 型井区域。

　　4、P阱的形成将光刻胶涂在晶圆上之后，利用光刻技术，将所要形成的P型阱区的图形定义出来，即将所要定义的P型阱区的光刻胶去除掉。

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　　［与防护］氢氟酸属一级无机酸性腐蚀物品，危规编号:91035。用聚乙烯塑料桶或四氟乙烯塑料桶包装。每桶净重20kg或25kg。量少可用塑料瓶盛装，每瓶0.5kg包装，包装上应有“剧“或“腐烛性物品“标志。不可与氧化剂，有机物、易燃物、碱、金属粉等共贮混运。失火时可用黄砂、二氧化碳灭火器扑教，禁用柱状水扑救。氢氟酸腐蚀性强，蒸气毒，高容许浓度为1mg/m3。皮肤误触时、应立即用大量清水冲洗，或立即用3%碱液，10%碳酸铵溶液冲洗。严重时应送医院治疗。

　　氢氟酸是氟化氢气体的水溶液,为无透明至淡颜冒烟液体。有发生反应性气味。分子式 HF-H2O。相对密度 1.15～1.18。沸点 112.2℃(按重量百分比计为38.2%)。市售通常浓度:约47% 。是弱酸氢氟酸腐蚀氢氟酸是一种剧毒和强腐蚀性的物质。其本身易挥发并且能与水互溶而引起强烈腐蚀。 一、氢氟酸腐蚀 (一)均匀腐蚀 氢氟酸对金属材料的腐蚀是电化学腐蚀。其腐蚀是按电化学过程进行，即阳产生金属溶解(均匀腐蚀)，阴析出氢(导致氢鼓泡和氢脆)