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　　氢氟酸与其他酸的对比

　　与盐酸、硫酸等强酸相比，氢氟酸的独特之处在于其分子渗透性和与硅的强反应能力。硫酸主要通过脱水性造成烧伤，而氢氟酸则通过氟离子的生化毒性引发深层损伤。硝酸的氧化性更强，但氢氟酸对玻璃的腐蚀性无可比拟。此外，氢氟酸的中和需特异性钙剂，而普通酸烧伤仅需清水冲洗。这些差异使得氢氟酸事故处理更具挑战性，常规酸防护措施可能不足以应对其风险。

　　前面我们提到,在晶体管之间的区域进行场注入和场氧生长,在这道工序中,先牛成由硅钢化物层、氮化硅(Si )层和正性光刻胶层组成的叠层。按者,用“有源区”掩模版光刻,以便只刻蚀出晶体之间的区域、见图17.8(d)D,然后,进行沟道阻断层注入,去除光刻胶,并在刻蚀出的区域生长-层厚氧化层,即生成了场氧。去除作为保护层的氮化物层和氧化物层,见凶17.8(e),从而露出用于制作品体管的区域 为清楚起见,后续的图中将省略沟道阻断注入。

　　7. Peterson, I.; Craw, P. A. Tetrahedron Lett., 1989, 30, 5799.8. Clarke, P. A.; Grist, M.; Ebden, M.; Wilson, C.; Ble, A. J. Tetrahedron, 2005, 61, 353. 9. Chr. Norrild, J.; Pedersen, C.; Defaye, J. Carbohydr. Res., 1996, 291, 85.

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　　储存注意事项: 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃，相对湿度不超过85%。保持容器密封。应与碱类、活性金属粉末、玻璃制品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。监测方法:离子选择性电法；氟试剂－镧盐比法工程控制: 密闭操作，注意通风。尽可能机械化、自动化。提供淋浴和洗眼设备。

　　呼吸系统防护: 可能接触其烟雾时，佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）或空气呼吸器。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴氧气呼吸器。

　　此工艺通过浓硫酸与萤石（≥97.5％氟化钙）反应获得氟化氢。氟化氢离开反应器后被冷凝，然后通过蒸馏纯化。氢氟酸是通过迅速将无水氟化氢溶解于水获得。氟化氢也是提取磷酸（肥料前身）的一个副产品，磷酸是从矿物磷灰石（CA5(PO4)3(F,Cl,OH)）获得的。磷灰石遇酸释放气体硫，包括氟化氢，二氧化硫，水蒸汽和颗粒物。气体生成物和固体分离，与浓硫酸和发烟硫酸生成无水氟化氢。氢氟酸是伴随着硅酸盐矿物溶解过程产生的，并产生大量的氟硅酸。