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　　氢氟酸与其他酸的对比

　　与盐酸、硫酸等强酸相比，氢氟酸的独特之处在于其分子渗透性和与硅的强反应能力。硫酸主要通过脱水性造成烧伤，而氢氟酸则通过氟离子的生化毒性引发深层损伤。硝酸的氧化性更强，但氢氟酸对玻璃的腐蚀性无可比拟。此外，氢氟酸的中和需特异性钙剂，而普通酸烧伤仅需清水冲洗。这些差异使得氢氟酸事故处理更具挑战性，常规酸防护措施可能不足以应对其风险。

　　2）高铬钢和铬镍不锈钢在氢氟酸浓度高于50％的介质中有严重的点腐蚀。12Cr和1Crl8Ni9Ti等不锈钢在氢氟酸中生成的保护膜致密性差，即使在常温下也能为氢氟酸所破坏。一般不选用。3）铸铁本身性脆，机械性能差，碳、硫、磷、硅含量较高。不耐氢氟酸腐蚀。4）铜虽然在低温、稀酸中耐氢氟酸腐蚀，但不耐冲蚀。对流速较大的流动介质不能选用铜。在浓的氢氟酸中铜可耐66℃氢氟酸腐蚀 。5）铝不耐氢氟酸腐蚀。 6）金、银、铂等贵重金属抗氢氟酸能力比蒙乃尔合金还要好，但由于价格昂贵，一般不选用。

　　氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，清澈，无、发烟的腐蚀性液体，有剧烈刺激性气味。熔点-83.3℃，沸点19.54，闪点112.2℃，密度0.888g/cm³。易溶于水、乙醇。因为氢原子和氟原子间结合的能力相对较强，使得氢氟酸在水中不能电离，所以理论上低浓度的氢氟酸是一种弱酸（按其电离常数实际上属于中强酸）。具有强的腐蚀性，能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体。如吸入蒸气或接触皮肤会造成治愈的灼伤。实验室一般用萤石（主要成分为氟化钙）来制取，需要密封在塑料瓶中，并保存于阴凉处。

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　　剧毒。具有强腐蚀性，能烧伤皮肤并有渗透至骨骼的危险。对玻璃等硅酸盐有腐蚀作用，铂、橡胶、聚乙烯、聚四氟乙烯等不受腐蚀。4.对空气和湿气比较敏感。该试剂具有大的毒性和腐蚀性，带上防护面罩和手套后在通风效果好的通风橱中小心操作和使用。 5.稳定性[26]  稳定 6.禁配物[27]  易燃或可燃物 7.避免接触的条件[28]  潮湿空气

　　8.聚合危害[29]  不聚合1.储存注意事项[30] 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃，相对湿度不超过80%。应与易（可）燃物、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 2.属一级无机酸性腐蚀性物品,遇金属能放出氢气，遇火星易引起燃烧或爆炸，因而不可与金属粉末、氧化剂、碱、有机物等共贮混运。 1.硫酸法:将干燥后的萤石粉和硫酸按配比1:(1.2～1.3)混合，送入回转式反应炉内进行反应，炉内气相温度控制在280℃±10℃。反应后的气体进入粗馏塔，除去大部分硫酸、水分和萤石粉，塔釜温度控制在100～110℃，塔顶温度为35～40℃。粗氟化氢气体再经脱气塔冷凝为液态，塔釜温度控制在20～23℃，塔顶温度为-8℃±1℃，然后进入精馏塔精馏，塔釜温度控制在30～40℃，塔顶温度为19.6℃±0.5℃。精制后的氟化氢用水吸收，即得氢氟酸产品。其

　　28、 淀积含硼磷的氧化层加入硼磷杂质的二氧化硅有较低的溶点，硼磷氧化层(BPSG)加热到摄氏800度时会有软化流动的特性，可以利用来进行晶圆表面初级平坦化，以利后续光刻工艺条件的控制。29、 接触孔的形成涂布光刻胶，利用光刻技术形成层接触金属孔的屏蔽。再利用活性离子刻蚀技术刻蚀出接触孔。30、 溅镀 Metal1利用溅镀技术，在晶圆上溅镀一层钛／氮化钛／铝／氮化钛之多层金属膜。