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　　氢氟酸对人体的危害

　　氢氟酸接触皮肤后，初期可能仅表现为轻微疼痛或红斑，但其氟离子会迅速穿透组织，与钙、镁离子结合，导致细胞坏死和骨骼脱钙。若不及时处理，可能引发深度烧伤、低钙血症甚至致命性心律失常。吸入氢氟酸蒸气会腐蚀呼吸道，导致肺水肿；眼睛接触可致失明。因其潜伏性强，即使少量接触也需立即用葡萄糖酸钙凝胶中和并就医。长期低剂量暴露可能造成慢性氟中毒，表现为骨质硬化和器官损伤。

　　参考:Razavi-7章 CMOS工艺技术-519暴力讲解半导体中的“氮化硅”

　　制造从约1mm厚的p型硅晶片开始。在清洁和抛光工序后,在晶片表面生长一层作为保护层的二氧化硅薄层,见图17.8(a)。接着,制作n阱,光刻工序包括光刻胶涂敷、用n阱掩模版进行紫外线曝光和选择性刻蚀,然后进行n卧离子注入,见网17.8(b),之后,去除无用的光刻校和氧化层.见图17.8（C）。

　　氢键供体数量:1 3.氢键受体数量:1 4.可旋转化学键数量:0 5.互变异构体数量:无

　　6.拓扑分子性表面积0

　　7.重原子数量:1

　　8.表面电荷:0

　　9.复杂度:0

　　10.同位素原子数量:011.确定原子立构中心数量:0

　　12.不确定原子立构中心数量:0

　　13.确定化学键立构中心数量:0 14.不确定化学键立构中心数量:0 15.共价键单元数量:1 1.腐蚀性强，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易挥发，置于空气中即冒白烟。与金属盐、氧化物、氢氧化物作用生成氟化物。遇金属能放出氢气，遇火星易引起爆炸或燃烧。不腐蚀聚乙烯、铅和白金。剧毒! 接触氢氟酸的人员应穿好防护。当皮肤接触氢氟酸时，应立即用大量水冲洗，严重时应送医院治疗。工作现场应注意通风。

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　　什么是氢氟酸？氢氟酸是氯化氢与氟矿石（含氟化钙97%）反应产生的氟化氢冷却后形成的液体。该液体是清澈、无、易发烟的腐蚀性液体，有强烈的刺激性气味。浓度大于40%的氢氟酸溶液可产生烟雾。 氢氟酸具有强的腐蚀性，能强烈的腐蚀金属、玻璃和含硅的物体。主要用于铝和铀的提取、玻璃的雕刻、不锈钢表面含氧杂质的清洗。 二、氢氟酸对皮肤组织损伤的机理是什么？

　　氢氟酸对组织损伤的机理首先是直接腐蚀接触的皮肤，其次是氟离子的渗透，导致深部组织的坏死、组织脱钙、疼痛。1. 氢氟酸烧伤后的疼痛呈迟发性、顽固性的剧烈疼痛，这种疼痛有时麻也无法缓解。一般疼痛发生在伤后1~8小时。 2. 氢氟酸对组织的损伤是进行性的，烧伤面积和深度可以不断进展。是指、趾甲受损时，可向指、趾甲下侵犯，这是因为氢氟酸的腐蚀作用，促进氟化物向深部组织侵犯，指、趾甲没有角化层存在，氢氟酸可以迅速穿过甲床、基质和指、趾骨，侵犯指、趾下。

　　8、去除氮化硅将晶圆表面的氮化硅，利用热磷酸湿式蚀刻的方法将其去除掉。9、N阱离子注入利用离子注入技术，将磷打入晶圆中，形成n 型阱。而在P 型阱的表面上由于有一层二氧化硅膜保护，所以磷元素不会植入打入P 型阱之中。

　　10、N阱退火离子注入之后会严重地破坏硅晶圆晶格的完整性。所以掺杂离子注入之后的晶圆经过适当的处理以回复原始的晶格排列。退火就是利用热能来消除晶圆中晶格缺陷和内应力，以恢复晶格的完整性。同时使注入的掺杂原子扩散到硅原子的替代位置，使掺杂元素产生电特性。