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　　氢氟酸的历史与发现

　　氢氟酸的发现可追溯至17世纪，当时瑞典化学家舍勒首次从萤石（CaF₂）中制得氟化氢。19世纪初，法国科学家盖·吕萨克和泰纳尔提纯了无水氢氟酸，并发现其腐蚀玻璃的特性。工业规模化生产始于20世纪，随着制冷剂和原子能需求增长。历史上，氢氟酸曾用于铀浓缩（曼哈顿计划），也因战争用途蒙上阴影。如今，其应用更偏向民用高科技领域，但安全争议始终存在。

　　［用途］用于制造氟化钠、氟化铝、六氟化铀、氟碳化合物、冰晶石等无机及有机氟化物。有机合成工业中用作聚合、缩合及烷基化的促进剂。石油化工中用作催化剂。也用于玻璃仪表、器皿及镜子的刻花、刻字，非铁金属及不锈钢酸洗，金属铸件除砂，磨砂灯泡处理。还用来制造杀虫剂、杀菌剂、阻燃剂，以及电镀、陶瓷处理等。［简要制法］生产氢氟酸有采用萤石及磷矿石两种原料路线。而以萤石为原料的硫酸法是工业上普遍采用的方法。将干燥后的萤石粉和硫酸按配比1:(1.2-1.3)混合，经高温分解、粗馏、精馏及水吸收而制得氢氟酸。

　　氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，有刺鼻气味，易挥发，露置空气中即冒白烟。氢氟酸是一种弱酸，其浓度越高酸性也越强。氢氟酸的腐蚀性强，能腐蚀大多数金属、玻璃和含硅的物体。所以氢氟酸溶液需放入塑料瓶中保存，并将其置于阴凉干燥处。实验室中常用硫酸分解萤石（CaF2）得到氟化氢气体，然后用水吸收制得氢氟酸。需要注意的是，氢氟酸有剧毒，能腐蚀人的器官组织，对人体危害大，日常生活中需远离。氢氟酸的应用主要集中在化工、金属制造、半导体等领域。氢氟酸可用于化工领域中制造无机氟化合物，如氟化铝、冰晶石、氟化钠、氟化氢钠等，其中氟化铝和冰晶石用量大。氢氟酸还能用于生产甲烷和乙烷的卤代物，产品主要用于空调制冷剂、气雾剂上。半导体制造过程中，氢氟酸可用于蚀刻硅晶片，以制造集成电路。氢氟酸还能用作不锈钢的清洗剂，除去金属表面的氧化物。

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　　由于氢氟酸溶解氧化物的能力，它在铝和铀的提纯中起着重要作用。氢氟酸也用来蚀刻玻璃，半导体工业使用它来除去硅表面的氧化物，除去不锈钢表面的含氧杂质的“浸酸”过程中也会用到氢氟酸。氢氟酸也用于多种含氟有机物的合成，比如Teflon(聚四氟乙烯）还有氟利昂一类的致冷剂操作注意事项: 密闭操作，注意通风。操作尽可能机械化、自动化。操作人员经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具，穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。蒸气泄漏到工作场所空气中。避免与碱类、活性金属粉末、玻璃制品接触。搬运时要轻装轻卸，包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。

　　31、 定义出层金属的图形利用光刻技术定义出层金属的屏蔽。接着将铝金属利用活性离子刻蚀技术刻蚀出金属导线的结构

　　32、淀积二氧化硅利用PECVD 技术，在晶圆上沉积一层二氧化硅介电质，做为保护层。

　　33、 涂上二氧化硅将流态的二氧化硅﹝SOG,spin on glass﹞旋涂在晶圆表面上，使晶圆表面平坦化，以利后续之光刻工艺条件控制。34、 将 SOG 烘干由于SOG是将二氧化硅溶于溶剂中，因此要将溶剂加热去除掉。