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　　氢氟酸的化学特性

　　氢氟酸（HF）是一种无色透明的强酸，由氟化氢气体溶于水制成，具有极强的腐蚀性和毒性。与其他强酸不同，氢氟酸的酸性并非最强，但其独特的氟离子（F⁻）使其能够溶解许多其他酸无法腐蚀的物质，如玻璃、陶瓷和某些金属氧化物。这是因为氟离子能与二氧化硅（SiO₂）反应生成六氟硅酸（H₂SiF₆），从而破坏硅酸盐材料的结构。氢氟酸的弱解离性（部分电离）使其在低浓度下仍具有高渗透性，能够深入组织，造成严重伤害。

　　用于有机或无机氣化物的制造，如氣碳化合物、氟化钠、氟化铝、六氣化铀和冰晶石等。也用于不锈钢、非铁金属酸洗，玻璃仪表刻度、玻璃器皿和镜子刻花、刻字，以及玻璃器皿抛光、磨砂灯泡和一般灯泡处理、金属石墨乳除硅提纯、金属铸件除砂、石墨灰分的去除、半导体(锗、硅)的制造。也用作染料合成.及其他有机合成的催化剂。还用于电镀、试剂、发酵、陶瓷处理以及含氟树脂和阻燃剂的制造等。6、用于刻蚀玻璃，酸洗金属，制无机类氟盐产品及化学试剂。

　　8、去除氮化硅将晶圆表面的氮化硅，利用热磷酸湿式蚀刻的方法将其去除掉。9、N阱离子注入利用离子注入技术，将磷打入晶圆中，形成n 型阱。而在P 型阱的表面上由于有一层二氧化硅膜保护，所以磷元素不会植入打入P 型阱之中。

　　10、N阱退火离子注入之后会严重地破坏硅晶圆晶格的完整性。所以掺杂离子注入之后的晶圆经过适当的处理以回复原始的晶格排列。退火就是利用热能来消除晶圆中晶格缺陷和内应力，以恢复晶格的完整性。同时使注入的掺杂原子扩散到硅原子的替代位置，使掺杂元素产生电特性。

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　　对泄漏物处理戴好防毒面具、防护眼睛、手套和全身防护服。将污染地面洒上苏打石灰，用水冲洗，经稀释的污水放入废水系统。常用作蚀刻玻璃及陶器的腐蚀剂，作为高辛烷汽油和有机化学反应的催化剂，某些金属如铍、铀等的冶炼，清洗铸件，电子制品的硅洗涤剂，用于染料化工、制造氟塑料、氟橡胶、氟化铝、六氟化铀、特种金属。在洗涤剂中代替草酸也可用于搪瓷、镀锌铁、分解纤维素、擦亮结晶玻璃。分析上用作测定二氧化硅试剂。

　　去除氮化硅将晶圆表面的氮化硅，利用干法刻蚀的方法将其去除掉。6、P阱离子注入利用离子注入的技术，将硼打入晶圆中，形成P 型阱。接着利用无机溶液，如硫酸或干式臭氧（O3）烧除法将光刻胶去除。

　　7、P 阱退火及氧化层的形成将晶圆放入炉管中，做高温的处理，以达到硅晶圆退火的目的，并且顺便形成一层n型阱的离子注入mask 层，以阻止下一步骤中﹝n型阱的离子注入﹞，n型掺杂离子被打入P型井内。