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　　氢氟酸对人体的危害

　　氢氟酸接触皮肤后，初期可能仅表现为轻微疼痛或红斑，但其氟离子会迅速穿透组织，与钙、镁离子结合，导致细胞坏死和骨骼脱钙。若不及时处理，可能引发深度烧伤、低钙血症甚至致命性心律失常。吸入氢氟酸蒸气会腐蚀呼吸道，导致肺水肿；眼睛接触可致失明。因其潜伏性强，即使少量接触也需立即用葡萄糖酸钙凝胶中和并就医。长期低剂量暴露可能造成慢性氟中毒，表现为骨质硬化和器官损伤。

　　23、 热氧化利用氧化技术，在晶圆表面形成一层氧化层。24、 NMOS 源和漏形成涂布光刻胶后，利用光刻技术形成NMOS源与漏区域的屏蔽，再利用离子注入技术将砷元素注入源与漏区域，而后将晶圆表面的光刻胶去除。

　　25、 PMOS 源和漏形成利用光刻技术形成PMOS源及漏区域的屏蔽之后，再利用离子注入技术将硼元素注入源及漏区域，而后将晶圆表面之光刻胶去除。

　　26、 未掺杂的氧化层化学气相淀积利用等离子体增强化学气相沉积( PECVD )技术沉积一层无掺杂的氧化层，保护器件表面，免于受后续工艺。27、 CMOS 源和漏的活化与扩散利用退火技术，将经离子注入过的漏及源进行电性活化及扩散处理。

　　剧毒。具有强腐蚀性，能烧伤皮肤并有渗透至骨骼的危险。对玻璃等硅酸盐有腐蚀作用，铂、橡胶、聚乙烯、聚四氟乙烯等不受腐蚀。4.对空气和湿气比较敏感。该试剂具有大的毒性和腐蚀性，带上防护面罩和手套后在通风效果好的通风橱中小心操作和使用。 5.稳定性[26]  稳定 6.禁配物[27]  易燃或可燃物 7.避免接触的条件[28]  潮湿空气

　　8.聚合危害[29]  不聚合1.储存注意事项[30] 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃，相对湿度不超过80%。应与易（可）燃物、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。 2.属一级无机酸性腐蚀性物品,遇金属能放出氢气，遇火星易引起燃烧或爆炸，因而不可与金属粉末、氧化剂、碱、有机物等共贮混运。 1.硫酸法:将干燥后的萤石粉和硫酸按配比1:(1.2～1.3)混合，送入回转式反应炉内进行反应，炉内气相温度控制在280℃±10℃。反应后的气体进入粗馏塔，除去大部分硫酸、水分和萤石粉，塔釜温度控制在100～110℃，塔顶温度为35～40℃。粗氟化氢气体再经脱气塔冷凝为液态，塔釜温度控制在20～23℃，塔顶温度为-8℃±1℃，然后进入精馏塔精馏，塔釜温度控制在30～40℃，塔顶温度为19.6℃±0.5℃。精制后的氟化氢用水吸收，即得氢氟酸产品。其

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　　7、用于原子能工业、制元素氣、氣化物，也可作催化剂、氣化剂等用于有机或无机氣化物的制造，也用于不锈钢、非铁金属酸洗、玻璃器皿磨砂和酸洗、磨砂灯泡的处理等。氟化氢的性质与常见用途有哪些 氟化氢是一种无的腐蚀性气体或液体，由一个氢原子和一个氣原子组成。氟化氢的水溶液称为氢氣酸。 氫原子和氟原子间结合的能力相对较强，使得氢氟酸在水中不能电离，因此理论上低浓度的氢氣酸是一种弱酸，但是氢氟酸却能够溶解很多其他酸都不能溶解的二氧化硅玻璃。实验室中用萤石(氣化钙 CaF2)和浓硫酸来制造氢氣酸。这个反应生成的蒸气是氟化氢、硫酸和其他几种副产品的混合物。在此之后氣化氢可以通过蒸馏来提纯。工业上的氢氟酸是通过用酸分解磷灰石获得的。

　　28、 淀积含硼磷的氧化层加入硼磷杂质的二氧化硅有较低的溶点，硼磷氧化层(BPSG)加热到摄氏800度时会有软化流动的特性，可以利用来进行晶圆表面初级平坦化，以利后续光刻工艺条件的控制。29、 接触孔的形成涂布光刻胶，利用光刻技术形成层接触金属孔的屏蔽。再利用活性离子刻蚀技术刻蚀出接触孔。30、 溅镀 Metal1利用溅镀技术，在晶圆上溅镀一层钛／氮化钛／铝／氮化钛之多层金属膜。