珠海工业级50%氢氟酸用途

　　氢氟酸与其他酸的对比

　　与盐酸、硫酸等强酸相比，氢氟酸的独特之处在于其分子渗透性和与硅的强反应能力。硫酸主要通过脱水性造成烧伤，而氢氟酸则通过氟离子的生化毒性引发深层损伤。硝酸的氧化性更强，但氢氟酸对玻璃的腐蚀性无可比拟。此外，氢氟酸的中和需特异性钙剂，而普通酸烧伤仅需清水冲洗。这些差异使得氢氟酸事故处理更具挑战性，常规酸防护措施可能不足以应对其风险。

　　11、去除二氧化硅利用湿法刻蚀方法去除晶圆表面的二氧化硅。12、前置氧化利用热氧化法在晶圆上形成一层薄的氧化层，以减轻后续氮化硅沉积工艺所产生的应力。

　　13、 氮化硅的淀积利用低压化学气相沉积方法（LPCVD）淀积氮化硅薄膜，用来定义出器件隔离区域，使不被氮化硅遮盖的区域，可被氧化而形成组件隔离区。

　　14、元件隔离区的掩膜形成利用光刻技术，在晶圆上涂布光刻胶，进行光刻胶曝光与显影，接着将氧化缘区域的光刻胶去除，以定义出器件隔离区。

　　19、 电氧化层的形成此步骤为制做CMOS的关键工艺，利用热氧化法在晶圆上形成高品质的二氧化硅，做为电氧化层。20、 电多晶硅的淀积利用低压化学气相沉积（LPCVD）技术在晶圆表面沉积多晶硅，以做为连接导线的电。

　　21、 电掩膜的形成涂布光刻胶在晶圆上，再利用光刻技术将电的区域定义出来。

　　22、 活性离子刻蚀利用活性离子刻蚀技术刻蚀出多晶硅电结构，再将表面的光刻胶去除。

　　珠海工业级50%氢氟酸用途

　　去除氮化硅将晶圆表面的氮化硅，利用干法刻蚀的方法将其去除掉。6、P阱离子注入利用离子注入的技术，将硼打入晶圆中，形成P 型阱。接着利用无机溶液，如硫酸或干式臭氧（O3）烧除法将光刻胶去除。

　　7、P 阱退火及氧化层的形成将晶圆放入炉管中，做高温的处理，以达到硅晶圆退火的目的，并且顺便形成一层n型阱的离子注入mask 层，以阻止下一步骤中﹝n型阱的离子注入﹞，n型掺杂离子被打入P型井内。

　　氢氟酸是危险的无机酸之一。由于它的腐蚀性，皮肤上微量接触这种化学物质， 氟化氢是一种有毒的化学物品,具有腐蚀性。在人体皮肤上微量接触这种酸性物质后会造成灼伤和,对呼吸系统造成损坏。氢氟酸是无机酸之一,属于危险化学品的一种,其主要用途是作为工业原料或制备有机溶剂(如石油化工、医等)。由于其强氧化性和强烈的水解作用以及易燃烧的特点,被广泛应用于制造塑料制品中。,它还用于制作涂料及其他助焊剂等。,它还可以作为金属清洗剂,水垢形成、变等现象发生;对于某些材料,例如玻璃器皿、陶瓷设备和汽车零部件都可能使用该产品。