精馏塔釜液返回洗涤塔；塔顶馏出液进入脱气塔脱除SO2、SiF4等轻组分。脱气塔釜液为产品。HF二级冷凝器的未凝气和脱气塔塔顶排出的未凝气一起进入硫酸吸收塔，在此用硫酸吸收其中大部分HF，然后依次进入、第二水洗塔，生成氟硅酸。未被吸收的气体进入尾气塔，洗掉其中的大部分酸性气体后，未被吸收的气体排空。尾气塔的洗涤液和地面冲洗酸性水送至废液处理装置，处理后的合格污水排入排水系统。

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　　储存注意事项: 储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃，相对湿度不超过85%。保持容器密封。应与碱类、活性金属粉末、玻璃制品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。监测方法:离子选择性电法；氟试剂－镧盐比法工程控制: 密闭操作，注意通风。尽可能机械化、自动化。提供淋浴和洗眼设备。氢氟酸的反应:氢氟酸，分子式HF－H2O，属剧毒弱酸，可经皮肤和呼吸道被人体吸收。对皮肤有强烈刺激性和腐蚀性。吸入氢氟酸酸雾会引起支气管炎和出血性肺水肿，人体摄入1.5g可致立即死亡，经皮肤吸收可引起严重中毒。

　　电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用多的电子化学品之一，在氟化氢行业频遭"限制"的情况下，高纯电子级氟化氢却逆势而上，不断有企业增扩电子级氟化氢产能。随着我国微电子工业的高速发展，电子级氟化氢需求不断提高。电子级氢氟酸是氟精细化学品的一种，主要用于去除氧化物，是半导体制作过程中应用多的电子化学品之一。从电子级氢氟酸行业的发展历程来看，可以分为三个阶段:起始阶段、规模化发展阶段以及发展阶段。由于氢氟酸溶解氧化物的能力，它在铝和铀的提纯中起着重要作用。氢氟酸也用来蚀刻玻璃，半导体工业使用它来除去硅表面的氧化物，在炼油厂中它可以用作异丁烷和丁烷的烷基化反应的催化剂，除去不锈钢表面的含氧杂质的“浸酸”过程中也会用到氢氟酸。