技术参数

　　旋转工作台

　　旋转精度 (径向): (0.02+3.5H/10000)μm

　　旋转精度 (轴向): (0.02+3.5X/10000)μm

　　H 为测量高度 (mm), X 为离旋转工作台轴的距离 (mm)

　　旋转速度: 2, 4, 6, 10rpm

　　(20rpm: 自动调心)

　　工作台有效直径: 300mm

　　调心范围: ±5mm

　　调调水平范围: ±1º

　　最大测量直径: 400mm

　　最大工件直径: 680mm

　　台面最大承重: 80kg (65kg: 自动调心)

　　垂直轴 (Z 轴)

　　垂直移动: 350mm: AS 型; 550mm: AH 型

　　直线度 (λc2.5): 0.05μm / 100mm, 0.14μm / 350mm: AS 型

　　0.05μm / 100mm, 0.2μm / 550mm: AH 型

　　与转台轴的平行度: 0.2μm / 350mm: AS 型

　　0.32μm / 550mm: AH 型

　　定位速度: 最大60mm/s

　　测量速度: 0.5, 1, 2, 5mm/s

　　最大检测高度: 350mm (OD), 350mm (ID)

　　(550mm (OD / ID): AH 型)

　　最大检测深度: 85mm - ø32mm 或更多

　　50mm - ø7mm 或更多

　　水平臂 (X 轴)

　　水平移动: 225mm

　　直线度 (λc2.5): 0.4μm / 200mm

　　与转台轴的垂直度: 0.5μm / 200mm

　　定位速度: 最大50mm/s

　　测量速度: 0.5, 1, 2, 5mm/s

　　测针和测头

　　测量范围: ±400μm/±40μm/±4μm

　　测力: 10 – 50mN (5 级转换)

　　标准测针: 12AAL021, 硬质合金球, ø1.6mm

　　测量方向: 双方向

　　测头角度调整: ±45º (带刻度)

　　供气

　　气压: 0.39MPa

　　耗气量: 45L/min.

　　电源: 100V AC – 240V AC, 50/60Hz

　　尺寸 (W x D x H): 1260 x 710 x 1700mm

　　(1260 x 710 x 1900mm: AH 型)

　　重量: 650kg: AS 型; 670kg: AH 型

　　带有防震台架:170kg自动调心、调水平的高精度旋转工作台

　　高精度、高刚度的旋转工作台研制成功有

　　赖于其关键部件如转子、定子等的特殊工

　　艺精度。此外，含有复杂孔径的气浮轴承

　　保证了刚度极高且压力分布均匀。所有这

　　一切造就了工业界领先的(径向) 旋转精度

　　(0.02+4H/10000)μm。内径/ 外径的连续、自动测量

　　连续自动测量可不改变测头位置，从外径

　　到内径依次进行。这样做可缩短测量时间，

　　排除因测头位置变化引起的误差，对高精

　　度测量极为有利。