大家好！无锡施罗森科技有限公司主营半导体代理销售业务，涉及半导体设备为:4寸、6寸、8寸、12寸。其代理销售领域涵盖ESI系列产品、厂务产品、 APET机台、CMP产品、Mujin机台、化学品、零部件和耗材等各方面，其中主要代理产品为ESI系列产品:金属离子在线监测系统，ICPMS样品分析。适用范围:化学品供应系统、超纯水供应系统和工艺设备。主要客户有:SKhynix、CSMC、Intel、SAMSUNG等。详细资料请参考本公司网站产品信息内容，欢迎广大客户来电咨询。

　　产品信息如下:

　　一、 设备规格参数（单位:mm）

　　1. scoutDX中央系统:1200x1200

　　2. scoutDX远程采集系统:600x600

　　二、系统介绍:

　　1. 远程模块:

　　a. 远程采样（可达300m，标准配置） 

　　b. 稀释远程采样（可达300m，标准配置）

　　c. 小体积样品转移（1-3ML） 

　　d. 每种化学品专用传输线

　　2. 中央系统 :

　　a. 自动校准

　　b. 全自动系统（24／7无尘室监测）

　　c. QC功能（超过规定值，重新校准）

　　d. 监测多种化学品或流动液体

　　3. 软件:

　　a. 智能软件接口

　　b. SECS/GEM通信

　　c. 设定污染限度

　　d. 发送*报

　　实时监控的好处

　　由于希望提高生产率并使用实时数据来更好地理解和改进流程, scoutDX/ ICP-MS系统提供了几个好处:

　　1. 直接检测和金属污染的通知:

　　a. - 减少产品损失的意外污染 

　　b. - 允许调查和污染源的消除 

　　c. - 优化化学品寿命和减少处理和更换成本 

　　2. 提高产品良率

　　3. 减少人类接触有害化学样品，提高安全性和减少人工处理错误

　　4. 可灵活定制的软件，可以按照用户定义的参数，将污染控制在每一个取样站

　　三、工作原理

　　将需要检测的液体输送到remote sampling system，而remote sampling system分为TX module和DTX module（TX module功能是传送；DTX module功能是传送和稀释），通过处理后再输送到central analysis system，样品分析完成后将会在central analysis system显示结果，数据也可以传送到客户要求的显示端。

　　四、功能用途

　　1. 厂务供料端检测

　　2. UPW系统检测

　　3. 工艺设备端检测

　　五、优势

　　1. 高精度

　　2. 速度快

　　3. 安全性能高

　　4. 提高产品质量