系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。

　　真空检测常用的有气压检漏、氨敏纸检漏、荧光检漏、高频火花检漏、放电管检漏和仪器检漏等多种方法。

　　标准漏孔指在温度为23±7、露点低于-25的干燥空气中，保持漏孔一端压强为100千帕±5%，另一端压强低于1千帕的状态下,经过校准后确定漏率的漏孔。常用标准漏孔有玻璃毛细管漏孔、薄膜渗氦漏孔、玻璃－白金丝漏孔、金属压扁漏孔、多孔金属或陶瓷漏孔和放射性漏孔等。气压检漏 被检零部件内腔充以气体(一般为空气)，充气压力的高低视零部件的强度而定，一般为(2～4)×105帕。充压后的零部件如发出明显的嘶嘶声，音响源处就是漏孔位置。用这种方法可检最小漏率为5帕·升/秒的漏孔。如不能用声音直接察觉漏孔，则用人耳可以听到的音频信号，并在屏幕上同时显示出来。在液晶屏幕上，泄漏源是黄色（泄漏较小，信号较弱）或者红色（泄漏较大，信号强）的实时可见图像。同时，连续声音分贝的有效值和最大值，在液晶屏幕底的横条光柱以不同颜色和数值显示出来。

　　专业求购二手检漏仪器可旋转显示器/控制界面和可选遥控手持控制器提高操作的灵活性UL1000符合做微电子工业市场的要求。至力于量仪，服务于大众。

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