氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

　　专业用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。

　　氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法。

　　JHS-232型是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。主要配置采用检漏仪定制产品。设备内芯的制造借鉴国外先进技术，整机设置合理、性能稳定。具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点。检漏效果达到国外先进水平

　　INFICON（德国） UL1000 fab移动式氦检漏仪专门设计用于满足苛刻的工业检漏要求:具有耐用性强、测试灵活性好、灵敏度高、启动快，响应精确迅速，系统安可靠等特点

　　UL1000 fab符合微电子工业生产的要求。从坚固的金属外壳到方便移动的滚轮，至I·CAL, 用于消除在10-11至10-12超高灵敏漏率范围中长平衡时间的运算法则，都无不显示了其无与伦比的优越性。

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　　系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000 fab的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。

　　UL1000 fab具有可转动的控制界面，装在仪器商的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果于状态信息，这样可远距离方便地观察读值。通过E-MAIL更新软件，新的固件可通过标准接口在数分钟内完成安装。

　　半导体工艺设备的维护，该设备本身带或未带有涡轮分子泵工艺气体系统的检测与安装元器件在组装前的漏率测试要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合

　　UL1000符合做微电子工业市场的要求。其特点从坚固的金属外壳并带有适用于洁净室的轮子，还有I-CAL（智能化漏率计算系统）,无与伦比的 噪声抑制滤波，柔性均值算法和漂移抑制功能。用于消除在10-11至10-12超高灵敏漏率范围中长时间平衡的程序。

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