充氮厌氧烘箱专用于硅片(或晶片、晶圆片、圆片)进行清洗之后干燥硅片工艺.

　　PHH-系列充氮厌氧烘箱特点:

　　1)全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

　　2)耐高温，可以达到和工作场同样的地洁净等级；

　　技术参数:

　　1． 型号:PHH-1008

　　2．工作尺寸(mm): W1400×H1300×D600

　　(宽*高*深)

　　3．外形尺寸(mm): W1990×H1850×D810

　　(宽*高*深)

　　4． 送风方式:强制送风循环。

　　5． 温度范围:RT＋10℃～300℃。

　　6． 温度波动:<±0.5℃。

　　7． 温度均匀:±1.5% 。

　　依测规范:测SENSOR置放点，离内箱壁内尺寸1／10处。

　　8．温控装置:日本富士P.I.D智能温控仪表， LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。

　　温控输出:SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器。

　　测温装置:1支PT100 铂 电阻温度传感装置，测温*。

　　定时装置:HS48S-99.99定时仪表。

　　9．内室材料:采用 1.0mm厚度SUS不锈钢钢板板金折弯加工，周身做氩弧焊满焊，密闭，氮气不泄露；外箱优质SUS不锈钢数字加工而成，美观大方 。

　　10．保温材质:硅酸铝。

　　11．特质复合式SUS304＃不锈钢电热产生器。

　　12．保护装置:超温保护，欠相保护,过载保护器，蜂鸣器，开门氮气自动中断保护

　　充氮厌氧烘箱