详细说明
被切割材料:太阳能多晶硅晶体。规格尺寸为:145mm×126mm。用金刚石线切割机床切割多晶硅的效率最快可达30000mm²/小时,电火花线切割机床切割多晶硅的加工效率为5000mm²/小时。
加工设备:泰州市晨虹数控设备制造有限公司新款金刚石线切割机
加工条件:加切削液,金刚石线物理方式切割
加工详情:一共切了三片,第一片加工速度最慢,第二片速度加快,第三片速度最快。记录下时间和检测被加工多晶硅表面的平面度情况。
根据以下结果可算一下金刚石线切割机切割硅片的效率是多少。
第一刀,切割时间最慢,耗时1个小时。效率达到18270mm²/小时。是电火花线切割切割效率的3倍之多,效果堪比磨床磨出来的效果。
第二刀,切割时间耗时45分钟。测量结果:最薄处为3.44mm,最厚处为3.47mm,表面平整度误差0.03mm。表面效果跟电火花线切割机床切割的多晶硅表面差不多。
第三刀,切割时间为30分钟。检测结果最薄处厚度为4.90mm,最厚处为4.95mm,表面平整度误差0.05mm。