上下料机 5-8道上下料机制绒上下料机 刻蚀由中国启天科技专利品牌独家公示:专利类型:

　　实用新型

　　申请日期:2009年3月6日

　　公开(公告)日:2010年12月1日

　　主分类号:H01L21/677,H01L21/00,H,H01,H01L,H01L21分类号:H01L21/677,H01L21/00,H,H01,H01L,H01L21申请（专利权）人:

　　国别省市代码东;44

　　主权项:一种全自动硅片上下料机，包括电动执行器、上料位、缓冲区、上料位升降机构、吸盘操作机构、传送带、篮具托盘操作机构、工作台面、控制面板、篮具上升机构，所述篮具托盘操作机构固定于工作台面上的左右两侧前方处，篮具托盘操作机构的操作台与工作台面下固定固定于篮具上升机构的第一线性模组固定连接，第一线线性模组与第一伺服电机的联轴器固定连接，实现篮具托盘操作机构上的篮具托盘的升降；所述传送带设置于篮具托盘操作机构的正后方，传送带一端与篮具托盘对正，实现传送带上的硅片送到每一层篮具中，传送带另一端的下方位于缓冲区上方；所述吸盘操作机构设置于电动执行器上，吸盘操作机构沿导轨水平左右移动；所述电动执行器设置于传送带的上方；所述上料位设置于电动执行器前方及传送带的中间位置的工作台面上，上料位与工作台面下固定设置的上料位升降机构上的第二线性模组固定连接，上料位升降机构中的第二伺服电机通过操作第二线性模组实现上料位上的硅片的升降；其特征在于:还包括可将上料位的硅片分开的分片机构、对每片硅片的方向矫正和定位的定位机构，其中分片机构安装于工作台面上位于上料位的两侧，定位机构安装于工作台面上位于传送带的两侧；在缓冲区设有吹气孔，且缓冲区下方还安装有传感器。

　　法律状态:

　　授权