详细说明
同时实现真空、洁净、无氧和高温组合运行环境洁净度100级（FED-STD-209E）
整体不锈钢设计,内胆及层板架采用的均为SUS304不锈钢材料
采用进口免维护低噪音风机及高效HEPA
多级软硬件报警和保护功能
内容积330L或可按要求定制
采用5”触摸液晶显示屏，设定及监控简便
可实现参数及数据的处理、显示、记录等功能
PLC控制模块，手动定制，自动和程序等运行模式
产品主要应用:
砷化镓半导体器件封装烘烤工艺
微型传感器的封装工艺、
MEMS的封装工艺研发
LED等器件封装工艺和材料无尘防氧化烘烤