MITO DENKO水户电工MBE-260_MBE装置

　　MBE装置MBE-260概要:

　　水户电工MBE设备是超高真空装置，可以用从外部引入的激光在真空中激发，并将材料沉积在衬底上。

　　MBE装置MBE-260规格参数:

　　Configure Spec

　　Processing room

　　and vacuum exhaust system Chamber Sharpφ260mm Spherical SUS

　　Reaching vacuum Less than6.7×10-7Pa (5×10-9Torr)

　　Ceramic bearing

　　turbo pump 250L/s

　　Target revolution unit φ20mm×6 axes

　　Rotation / revolution motor drive (PC control)

　　Substrate heating unit Infrared lamp substrate heating unit (can be changed to semiconductor

　　laser substrate heating unit)

　　Size of substrate 10mm

　　Maximum

　　heating temperature Above 800℃

　　Common specification Power supply / control rack (JIS standard compliant) integrated chamber frame

　　PLD automatic control system (PC and control software)

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