3轴机械臂_全轴采用AC伺服电机满足高速搬送

　　采用AC伺服电机的3轴机械臂特点:

　　超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列

　　适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运

　　全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求

　　比MHR系列具有更好的性价比优势

　　机械手臂标准臂长:160mm, 200mm

　　适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式

　　配备动作监视器

　　控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

　　全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机

　　S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

　　晶圆固定方式:真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式

　　手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

　　可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指

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　　衡鹏供应

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