详细说明
一、巨源微波化学气相沉积炉应用:可制备石墨烯、光电功能材料、碳纤维、SiC、TiC、膜材料，气相参与反应的材料合成等。
二、巨源微波化学气相沉积炉组成:石英质、高温合金管质及刚玉质管式炉，质量流量控制器和抽真空机械泵、扩散泵和分子泵。
三、巨源微波化学气相沉积炉特点:
1. 才用纯微波加热或混合加热方式，可加热包括金属在内的任何材料，
2. 升温速率快，智能控温，可分段设置，控温精度高，热惯性小。此管式炉可同时加热多个温区，且加热区长度可调。
3. 可通各种气氛，抽真空有机械泵、扩撒泵和分子泵，可达10-3Pa真空状态。
4、炉体采用不锈钢密封法兰（铰链结构），耐高温、耐腐蚀；
5、保护管采用耐高温合金管 ，气管采用卡套或VCR接口，安装方便；
6、炉体配有自动冷却风扇，降低温度；
7、控温PLC系统，可分段控制，控温精度±1℃，控温精度高；
8、真空系统:机械泵 扩散泵和分子泵，真空密度计
9、可通过电脑全程监控和调试；
四、巨源微波化学气相沉积炉产品参数:
| 型号/model | | |
| 可加热材料 | 非易燃易爆的任何材料，包括:金属、陶瓷、有机材料、矿物、溶液等 |
| 微波频率 | 2.45GHZ±50MHz |
| 加热方式 | 纯微波加热、传统电加热、混合加热 |
| 最大功率 | 2KW(功率可调) | 4KW(功率可调) |
| 温度测试元件 | 微波场专用传感器 |
| 控温精度 | ±1℃/±2℃ |
| 加热管材质 | 石英管 | 高温合金管 | 刚玉管 |
| 加热温度 | 1200℃ | 1200℃ | 1600℃ |
| 管径 | | | |
| 加热速度（最高） | | | |
| 恒温区长度 | 标配恒温区长度10mm，恒温去长度10mm～1000mm以上可选 |
| 温区 | 可多温区同时加热 |
| 气路法兰 | 不锈钢法兰 |
| 质量流量控制 | 美国Alicat质量流量&控制器、七星华创质量流量&控制器气柜、气路及各类阀门，可配套计算机自动控制系统及软件 |
| 气路数量 | 2路或3路 |
| 流量范围 | |
| 精度 | |
| 响应时间 | |
| 工作压力 | |
| 系统连接方式 | 采用快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪(列子) |
| 规格 | 高真空 |
| 系统真空范围 | 标准大气压～10-3Pa |
| 真空泵 | 简单机械泵抽真空和不锈钢法兰10-1Pa真空用高档机械泵及真空计10-2Pa真空用高档机械泵、扩散泵及真空计10-3Pa真空用高档机械泵、分子泵及真空计 |
| 炉腔尺寸 | |
| 加热腔(标配) | 0.5-3L 2个 |
| 加热腔大小 | 0.94L，2.12L，3.8L |
| 升温速率(标配) | |
| 外型尺寸 | 150cm´75cm´16cm(长×宽×高) |
| 重量 | |
| 微波泄漏 | |
| 提供相关配件 | |
| 保质期 | 整机免费保修1年 |