去离子水（deionized water）是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为:“去离子水完全或不完全地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。

　　在半导体行业中，去离子水被称为“超纯水”或是“18兆欧水”。

　　特点

　　去离子水制取工艺及其特点

　　1、离子交换树脂制取去离子水的传统水处理方式，其基本工艺流程为:

　　原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床→后置保安过滤器→用水点。

　　（特点:污染比较大，自动化程度低，初期投入低）

　　2、反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制取去离子水的方式，其基本工艺流程为:

　　原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→混床→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

　　（特点:污染小，自动化程度高，初期投入中等，价格适中）

　　3、反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制取去离子水的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为:

　　原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

　　（特点:环保，自动化程度高，初期投入大，价格相对比较贵。