Nupure Optics OA气体纯化器是设计来净化CDA，惰性气体(如氮气或氦气)，O2，和O2 /惰性气体混合物。使用室温操作，将N2和CDA中常见的碳氢化合物和其他气态杂质降低至PPT级.

　　Nupure Optics OA气体纯化器包含一个新的专利组合的非反应性无机吸收介质，不含碳氢化合物或硫化合物。由于光学OA不与氧发生反应，不需要复杂的温度传感设备，而且由于在我们的净化过程中没有产生热量，Nupure Optics OA气体纯化器可以位于使用点，对温度敏感过程没有影响。

　　Nupure Optics OA气体纯化器在标准尺寸范围从0到300 slpm，与XL版本特别适合高流量应用。建议采用工厂安装的进口隔离阀，便于安装，并消除可能的操作错误。

　　Nupure Optics OA气体纯化器特点

　　杂质去除至<0.5 ppb

　　不需要加热器或电源

　　室温操作

　　316L SS (<10 Ra EP)

　　改进的工艺设备性能

　　内置0.003型(PF型)可选

　　高流量-最高可达2500 slpm

　　最低成本(初始和运行)

　　Nupure Optics OA气体纯化器应用于:

　　光刻

　　镜片清洗

　　去除碳氢化合物

　　硫化物的去除

　　制造平板显示器

　　计量