详细说明
Nupure CAG气体纯化器使用了一种全新的、专利的催化剂/吸收剂/吸气剂(CAG)净化器技术,这代表了对所有惰性气体化学物质的重大改进。这使得最佳出口纯度保证为杂质<0.5 ppb。CAG纯化器在它们理想地适用于从液体来源净化惰性气体时实现了这一杰出的性能。
Nupure CAG气体纯化器在标准尺寸范围从0到300 slpm,XL版本特别适合高流量应用。建议采用工厂安装的进口隔离阀,便于安装,并消除可能的操作错误。
Nupure CAG气体纯化器特点
杂质去除至<0.5 ppb
不需要加热器或电源
室温操作
316L SS (<10 Ra EP)
工厂/现场可再生长达10年的使用寿命,改善了工艺设备的性能
内置0.003型(PF型)可选
高流量-最高可达300slpm
低成本(初始和运行)
Nupure CAG气体纯化器应用于:
APIMS零点和校准
半导体行业
半导体工艺设备
气瓶柜
气体分析仪车
分析行业
研究和开发
GAS | VERSION | H2O | O2 | CO2 | CO | H2 | NMHCs | CH4 | Particles |
N2 | <0.5ppb | <0.5ppb | <0.5ppb | <0.5ppb | <0.5ppb | <0.5ppb | <0.5ppb | <0.5ppb | <1pcf down to 0.01μm |
Noble | <0.5ppb | <0.5ppb | <0.5ppb | <0.5ppb | <0.5ppb | <0.5ppb | <0.5ppb | <0.5ppb | <1pcf down to 0.01μm |
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