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在计算机的操控下，使用聚集电子束对有机聚合物（一般称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在必定的溶剂中构成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上构成精密图形。
曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。
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