半导体微电子镀膜平模板等制造工艺使用的各种真空装置有真空用机器人和电机等各种自动化设备。 这些机械产品的回转和直线运动是利用机械主要零件之一的轴承作支承的。在真空中使用的轴承有滚动轴承 滑动轴承磁流体轴承等 ，但从可靠性 采购性操作性尺寸价格等方面来看 ，以滚动轴承的使用量。 滚动轴承在运行时，有必要使用耐真空型润滑剂 ，滚动轴承的性能在很大程度上受制于润滑剂的性能。 为此 ，PSEINU公司多年来一直持续进行真空环境下滚动轴承润滑技术的研究 ，为改善真空机械的性能和可靠性而不懈努力。 本文介绍本公司真空环境下润滑剂的评价方法 ，同时，介绍通过试验取得的真空轴承润滑技术 。

　　在真空环境下，由于环境气压低 ，希望采用蒸气压低 在真空中不易蒸发的润滑剂。作为主要的润滑剂 ，有固体润滑剂和真空润滑脂 。 固体润滑剂是金 银等软质金属或二硫化钼等层状结构物质 ，在轴承球 内圈外圈的表面上形成膜状使用 。 真空润滑脂采用蒸 气压低的PFPE基础油 PerfluoropolyetherOil等，和通常的润滑脂一样 ，用封人轴承的方式使用 。 由于PFPE油是液体 ，其蒸气压比固体润滑剂稍大。为此 ，对于高真空高温的用途 ，宜采用膏体润滑剂。Pseinu比瑟奴 T.GREASE-45通用型真空轴承润滑脂 是基于蒸汽压低的环戊烷基础油，并添加特的聚合物系统配制而成的。为真空条件下的各种轴承丝杆齿轮阀门链条垫片O型圈的长效密封和润滑。具有良好的高温稳定性和真空稳定性在遇到机械剪力时，表现出超凡的耐久性和稳定性强的化学惰性，不与强碱强酸溶剂等物质发生反应能在轴承滚道内形成稳定的润滑油膜和抗磨保护层优异的承载能力， 与大多数橡胶和塑料相容。应用于真空条件下的（滑动滚动轴承滚珠丝杆导轨滑块旋转部件螺杆机构链条阀杆马达）等。如:真空镀膜机真空丝印机真空刷板机真空泵。另一方面，与固体润滑剂相比真空润滑脂又有如下一些特点 :1由于能封入所有的轴承 ，适合使用的轴承种类非常多。 2在轴承内的接触部位 ，由于真空润滑脂的容许接触应力比固体润滑剂高 ，所以轴承的承载能力大。 3价格便宜。 为此 ，作为真空润滑剂 ，以使用真空润滑脂为多。以下介绍 以润滑脂为主的润滑技术概况。