varian 公司利用干式涡旋真空获得技术为用户提供了高抽速，低极限压强的真空泵产品。

　　这种干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高可靠性以及易维护等优势，使众多应用领域的理想前级真空获得产品。

　　·idp-3 60升/分钟

　　·sh-110 110升/分钟

　　·triscroll 300250升/分钟

　　·triscroll 600500升/分钟

　　idp-3 干式涡旋泵

　　idp-3 干式涡旋泵是varian 公司最新推出的紧凑型全无油的高性能真空泵，能够适合非常广泛的应用需要。idp-3 是世界上最小的涡旋泵，用于各种粗真空获得应用，重量仅有9.5kg，能够轻而易举地集成到各种实验、分析、生产系统当中。idp-3 所具有的60/升/分钟抽气速度以及 250mtorr（约33pa）极限压强，使其在同级别产品当中具有无可匹敌的优势。 产品特点: ◆ 全无油泵，不会污染真空系统 ◆ 采用独立马达与轴承的密封设计 ◆ 体积小巧:351x181x140mm ◆ 与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强 ◆ 无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件 ◆ 低噪声，低振动 sh-110

　　varian sh-110全密封干式涡旋泵具有业内领先的真空获得性能，结构紧凑，能够轻易地实现与现有各种科研、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升/分钟的抽速(60hz电源条件下)，可获得50mtorr(约67pa)的极限真空，即使单独作为粗真空获得设备也是非常理想的选择。

　　sh-110涡旋泵符合ce、csa以及semi s2-0200等多种标准。

　　性能特点:

　　l工作状态下泵体发热低

　　l 马达功率不到200瓦，低功耗

　　l 内置出气阀门有效降低工作噪声

　　l出气口位置可以动，以便更好地适应空间要求

　　l高压区间抽速高，确保迅速进入真空状态

　　l重量轻，配有把手，易于携带

　　l内置故障保护隔离阀保证真空系统的安全

　　l 配有自动气镇阀以有效排空水蒸气

　　l维护简便，只需定期更换密封圈即可

　　triscroll300干式涡旋泵

　　triscroll300 是varian公司生产的一款用于初级真空获得的多级干式涡旋泵产品,具有出色的工作稳定性。triscroll 300 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净真空环境。多年的实际应用证明，varian 独有的专利triscroll 300 设计具有很高的可靠性和耐用性，产品性能稳定，性价比非常突出。

　　技术特点:

　　l独有的triscrolltm专业结构设计

　　l 具有轴承吹扫功能，保护轴承不被工艺气体或粉尘污染

　　l 高可靠性

　　l具有自动气镇口