详细说明
美国varian公司 氦质谱检漏仪
vs系列氦质谱检漏仪
特性及优点
·多种语言和计量单位选择，可选中文界面
·135º 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术，金属密封结构
·新的电子线路及信号处理设计
·最小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程
·快速清氦和快速响应
·测试口耐压高，可实现大漏检漏
技术规格 | 性能指标 | pr02 | mr15&md30 | | 性能 | 前级泵内置式 | 前级泵外置式及小车 | | 前级泵 油式机械泵 | ds-42 2 m3/hr (34 l/m) | ds-302 14 m3/hr (232 l/m) | | 涡卷式干泵 | n/a | ts-620 30 m3/hr (500 l/m) | | 最小可检漏率在1000ppm的氦气背景下 | 5×10-12 atm cc/sec； 5×10-12 mbar l/s；5×10-13 pa m3/sec helium | | 测试口最高耐压 | 16 mbar，12 torr，1600 pa | | 测试口处对氦气抽速 | 1.8 l/s | | 校准程序 | 自动或手动（内置或外置） | | 氦本底清零 | 按键清零，并具有零点追踪功能 | | 操作界面 | 高清晰彩显，tft触摸屏 | | 语言选择 | 中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语 | | 循环检测 | 可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点 | | 响应时间 | ＜1.0秒 | | 设定点 | 标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点 | | 通讯协议 | rs-232 通讯借口，9600波特率（9芯窜口） | | 执行标准 | ul，ce，csa |
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