FJ-620/FJ-500F型系列复合分子泵机组是由F160/620系列各性能复合分子泵或FF-160/500F系列复合分子泵，前级抽气泵，隔断放气阀，前级管路，断水保护器，分子泵电源，控制电源等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。

　　分子泵机组--FJ-620/FJ-500F分子泵机组技术性能:

　　产品型号 FJ-620 FJ-620T FJ-620N FJ-620C FJ-500F

　　进气口法兰 DN160LF DN160CF DN160LF DN160CF DN160LF DN160CF DN160LF DN160CF DN160LF DN160CF

　　抽气速率L/S（对空气） 600 600 600 600 500

　　压缩比 N2

　　H2 109

　　6×103 109

　　6×103 109

　　6×103 109

　　6×103 109

　　6×103

　　极限压强（Pa） 6×10-6 6×10-7 6×10-6 6×10-7 6×10-6 6×10-7 6×10-7 6×10-8 6×10-6 6×10-7

　　输入电压频率（V/Hz） 380±20/50±1

　　冷却水压力（kg/cm-2） 0.5～1 0.5～1 0.5～1 0.5～1 0.5～1

　　前级泵型号 RVP-6

　　环境温度 4～40