| 冠金利新材料科技常规靶材规格尺寸范围:方形靶材（长度小于1000mm.宽度小于320mm,厚度大于1mm）圆片，圆柱形靶材（直径小于400mm,厚度大于1mm）或按客户指定尺寸规格加工定制。 |
| 产品编号名称 | 化学符号 | 纯度 | 规格尺寸 |
| 3177氮化铝靶材 | AlN | 4N | 方形靶材、圆片，圆柱靶材和管状旋转靶材，或按客户要求特殊定制 |
| 3178氮化硼靶材 | BN | 2N5 3N 4N | 方形靶材、圆片，圆柱靶材和管状旋转靶材，或按客户要求特殊定制 |
| 3179氮化镓靶材 | GaN | 4N | 方形靶材、圆片，圆柱靶材和管状旋转靶材，或按客户要求特殊定制 |
| 3180氮化铪靶材 | HfN | 2N5 3N 4N | 方形靶材、圆片，圆柱靶材和管状旋转靶材，或按客户要求特殊定制 |
| 3181氮化铌靶材 | NbN | 2N5 3N 4N | 方形靶材、圆片，圆柱靶材和管状旋转靶材，或按客户要求特殊定制 |
| 3182氮化硅靶材 | Si3N4 | 2N5 3N 4N | 方形靶材、圆片，圆柱靶材和管状旋转靶材，或按客户要求特殊定制 |
| 3183氮化钽靶材 | TaN | 2N5 3N 4N | 方形靶材、圆片，圆柱靶材和管状旋转靶材，或按客户要求特殊定制 |
| 3184碳氮化钛靶材 | TiCN | 2N | 方形靶材、圆片，圆柱靶材和管状旋转靶材，或按客户要求特殊定制 |
| 3185氮化钛靶材 | TiN | 2N5 3N 4N | 方形靶材、圆片，圆柱靶材和管状旋转靶材，或按客户要求特殊定制 |
| 3186氮化钒靶材 | VN | 2N5 3N 4N | 方形靶材、圆片，圆柱靶材和管状旋转靶材，或按客户要求特殊定制 |
| 3187氮化锆靶材 | ZrN | 2N5 3N 4N | 方形靶材、圆片，圆柱靶材和管状旋转靶材，或按客户要求特殊定制 |