详细说明
1.高纯氧化物薄膜材料(溅射靶材、颗粒、压片)
氧化物
OXIDE一氧化硅SiO二氧化铪HfO2二氧化锆ZrO2二氧化钛TiO2
一氧化钛TiO二氧化硅SiO2三氧化二钪Sc2O3三氧化二钛Ti2O3
三氧化二铝Al2O3五氧化二铌Nb2O5五氧化二钽Ta2O5五氧化三钛Ti3O5
三氧化二铟In2O3二氧化铈CeO2氧化镁MgO氧化镨Pr6O11
三氧化钨WO3氧化钐Sm2O3氧化钕Nd2O3氧化铋Bi2O3
氧化锑Sb2O3氧化钒V2O5氧化镍NiO氧化锌ZnO
氧化铁Fe2O3氧化铬Cr2O3氧化铜CuO
2.高纯氟化物薄膜材料(颗粒、压片)
氟化物
FLUORIDE氟化镁MgF2氟化镱YbF3氟化钇YF3氟化镝DyF3
氟化钕NdF3氟化铒ErF3氟化钾KF氟化锶SrF2
氟化钐SmF3氟化钠NaF氟化钡BaF2氟化铈CeF3
3. 特种薄膜材料(溅射靶材、颗粒)——应用太阳能、半导体、磁性元件等,热压、热等静压粉末冶金溅射靶材
SrAl2O4SrAlO4SrHfO3SrPrO3
SrZrHfO3L5ATO-HP or CIPAZO-HP or CIP
钛酸镧LaTiO3钛酸钡BaTiO3钛酸锶SrTiO3钛酸镨PrTiO3
冰晶石Na3AlF6锥冰晶石Na5Al3F14二钛酸镨Pr(TiO3)2硫化锌ZnS
硫化镉CdS-HP碲化镉CdTe-HP铜铟镓硒CIGS-HP锗锑碲GST-HP
硅钼合金MoSi-HP二硫化钼MoS2-HP二硫化钨WS2-HP硅钛合金SiTi-HP
钨钛合金WTi-HP硅铝合金SiAl-HP钼铬合金 MoCr-HP铝铬合金AlCr-HP
粉末冶金靶材种类繁多,以上列出有代表性材料,可根据要求定做。
4.高纯金属及合金材料(溅射靶材、颗粒)
铪靶Hf锆靶Zr钛靶Ti铝靶Al铬靶Cr
镁靶Mg铜靶Cu铁靶Fe铌靶Nb锡靶Sn
钨靶W钽靶Ta钼靶Mo镍靶Ni钴靶Co
钒靶V铽靶Tb钆靶Gd镧靶La铈靶Ce
钕靶Nd镨靶Pr金靶Au银靶Ag铂靶Pt
镍铬合金NiCr镍钒合金NiV锆钛合金ZrTi铌锆合金NbZr锌镉合金ZnCd