| 干式真空机组是以罗茨真空泵为主泵，干式螺杆真空泵为前级泵的抽气系统。此中机组的过流部分没有任何液体作为工作液，对被抽工艺气体不产生任何二次污染，有利于保持被抽系统的清洁，便于排除气体的回收。 由于此种机组具有大抽气量、高真空度、无污染的特点，因此其应用越来越广泛。 | 规格型号 | 单位 | JZDP150-2 | JZDP300-2 | JZDP600-4 | JZDP600-2 | | 抽气速率 | L/S | 150 | 300 | 600 | 600 | | 极限压力 | Pa | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | | 前级泵 （螺杆泵） | 规格型号 | | SDP-80 | SDP-120 | SDP-120 | SDP-200 | | 抽气速率 | L/S | 80 | 120 | 120 | 200 | | 配套功率 | KW | 7.5 | 15 | 15 | 18.5 | | 主泵 （罗茨泵） | 规格型号 | | ZJ-150 | ZJ-300 | ZJ-600 | ZJ-600 | | 抽气速率 | L/S | 150 | 300 | 600 | 600 | | 配套功率 | KW | 3 | 4 | 5.5 | 5.5 | | 入口 | Mm | 100 | 150 | 150 | 150 | | 出口 | Mm | 40 | 50 | 50 | 65 |
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