洁净度控制方案

　　ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。

　　空气洁净度分级标准:ISO14644-1（国际标准）

　　空气洁净度等级（N）

　　大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）

　　0.1um

　　0.2um

　　0.3um

　　0.5um

　　1um

　　5um

　　ISOClass1

　　10

　　2

　　ISOClass2

　　100

　　24

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