详细说明
镓扩扩散炉
主要技术指标
扩散炉组机、推拉舟及层流净化台
源柜、排毒柜、微机控制柜
扩散炉管数:1~3管/台
炉管内径:90~240mm（2寸-6寸）
恒温区长度:600~1000mm±1℃（300~800℃）
600~1000m±0.5℃(800~1250℃)
单点稳定性:±1℃/24H（300~800℃）
±0.5℃/24H（800~12500℃）
气源路数:5路
气源控制:MFC或浮子流量计
推拉舟速度范围及精度:（1~1000）±3mm/min
控制器采用欧姆龙触摸屏和PLC控制