产品简介

　　设备用途:半导体器件、太阳能电池片、电力半导体。

　　设备特点:采用积木式组合、控温器、推拉舟、流量计、阀门有多种不同配置供用户选择。

　　镓扩扩散炉

　　主要技术指标

　　扩散炉组机、推拉舟及层流净化台

　　源柜、排毒柜、微机控制柜

　　扩散炉管数:1~3管/台

　　炉管内径:90~240mm（2寸-6寸）

　　恒温区长度:600~1000mm±1℃（300~800℃）

　　600~1000m±0.5℃(800~1250℃)

　　单点稳定性:±1℃/24H（300~800℃）

　　±0.5℃/24H（800~12500℃）

　　气源路数:5路

　　气源控制:MFC或浮子流量计

　　推拉舟速度范围及精度:（1~1000）±3mm/min

　　控制器采用欧姆龙触摸屏和PLC控制