| | | 一般項目 | | 工作限高 | 50 mm（含）以下 | | 工作限重 | 20公斤 | | 外型尺寸 | 1900 x 2400 x 1880 (mm) | | 機器重量 | 2000 公斤 （含）以下 | | < 適用LCD面板尺寸 最大60寸 | | < 點(3umX 3um), 線(長3umX125um ), 塊 (125um X 125um), (修補放大比率 20倍) | | < 影像拍照、存檔與上傳 | | < 光閘紅光與紅框雙重顯示 | | < 光閘尺寸、鏡頭倍率及雷射功率參數儲存與選用 | | < 開放式XYZ軸光學尺，可精確定位 | | < AOI（TXT）鏈接到驅動器的位置坐標的缺陷 | | < 自動補償影像中心及鏡頭焦距誤差 | | < 檯面正壓吹浮功能及負壓吸附功能 | | < 工作臺具備震動隔離器 | | < 無熔絲保護斷路器保護 | | < 安全設備不尋常的緊急停止 | | < 工作環境溫度 21℃+ / -2℃ | | < 工作環境濕度 55 ± 5％RH | | 雷射系統 | | 雷射類型 | NEW WAVE Polaris ST ND-YAG. | | 波 長 | 1064 / 532 nm 雙波長 | | 輸入功率 | 30mJ(532 nm). | | 顯微鏡頭 | Mitutoyo VMU-L 4Lens auto-revolver. | | 鏡頭 | x2, x10(觀察), x20, (修補、 LCD 專用) | | 操作模式 | Auto . | | 調整差質 | Within ± 10μm. | | 光束模式 | 長型 / 方型及θ角± 45 °旋轉、可調 | | 工作平台 | | 工作平台尺寸 | 770 mm X 620mm | | XY軸移動範圍 | 820 mm X 750 mm | | XY軸移動速度 | over 50 mm/second | | Z軸移動範圍 | 50 mm | | 操作模式 | XYZ 軸四段電控 | | 顯像系統 | | 電腦系統 | 機架式電腦、影像擷取卡、顯示卡、軸卡 | | 顯示器 | 17 吋 LCD 顯示器（含）以上 | | 取像機 | CCD watec WAT-221s.NTCS。 | | 放大倍率 | 75、364、750、1820. | | 光源 | 可調，同軸光源與光班光源及 LED 背光模組 |
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